Система CVD с плазменным усилением состоит из генератора плазмы, трубчатой печи с тремя зонами нагрева, трубчатой печи с одной зоной нагрева, радиочастотного источника питания и вакуумной системы.
Технические характеристики
Для того, чтобы химическая реакция протекала при более низкой температуре, активность плазмы используется для ускорения реакции, и, таким образом, CVD называется химическим осаждением из паровой фазы с плазменным усилением (PECVD). Устройство для получения графеновой пленки PECVD ионизирует газ, содержащий атомы, составляющие пленку, с помощью радиочастотного выхода 13,56 МГц, формирует плазму в вакуумной камере, использует сильную химическую активность плазмы, улучшает условия реакции и использует активность плазмы для ускорения реакции, затем наносит желаемую пленку на подложку.
Применение
Это оборудование может использоваться в различных испытательных центрах, таких как получение графена, сульфида и нанометрового материала. На поверхность листа или образца аналогичной формы могут быть нанесены различные пленки, такие как SiOx, SiNx, аморфный кремний, микрокристаллический кремний, нанокремний, SiC, алмазоподобные и т.д., а также легированные пленки p-типа и n-типа. Нанесенная пленка обладает хорошей однородностью, компактностью, адгезией и изоляцией. Она широко используется в области резаков, высокоточных пресс-форм, твердых покрытий, высококачественной отделки и т.д.
Технические параметры
|
Трубчатая печь с тремя зонами нагрева |
Модель |
CY-PECVD-T01 |
|
Материал трубки |
Кварц высокой чистоты |
|
|
Диаметр трубки |
50 мм |
|
|
Длина трубки |
2830 мм |
|
|
Длина камеры печи |
660 мм |
|
|
Длина зоны нагрева |
200 мм + 200 мм + 200 мм |
|
|
Рабочая температура |
0～1100℃ |
|
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
|
|
Режим контроля температуры |
30- или 50-сегментный программный контроль температуры |
|
|
Режим отображения |
LCD |
|
|
Способ герметизации |
вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
|
|
Фланцевый интерфейс |
Соединительный наконечник 1/4 ", соединение KF16 /25/40 |
|
|
Вакуум |
4.4E-3Pa |
|
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
|
|
Трубчатая печь с одной зоной нагрева |
Модель |
CY-O1200-50IT |
|
Материал трубки |
Кварц высокой чистоты |
|
|
Диаметр трубки |
50 мм |
|
|
Длина трубки |
2830 мм |
|
|
Длина камеры печи |
440 мм |
|
|
Длина зоны нагрева |
400 мм |
|
|
Зона постоянной температуры |
200 мм |
|
|
Рабочая температура |
0～1100℃ |
|
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
|
|
Режим контроля температуры |
30- или 50-сегментный программный контроль температуры |
|
|
Режим отображения |
LCD |
|
|
Способ герметизации |
вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
|
|
Фланцевый интерфейс |
Соединительный наконечник1/4 ", соединение KF16 /25/40 |
|
|
Вакуум |
4.4E-3Pa |
|
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
|
|
Система радиочастотного вывода |
Диапазон мощности |
Регулируемая мощность 0 ~ 500 Вт |
|
Рабочая частота |
13,56 МГц + 0,005% |
|
|
Режим работы |
Непрерывная производительность |
|
|
Режим отображения |
LCD |
|
|
Режим согласованного импеданса |
Может совпадать, свечение равномерно покрывается тремя трубками печи с зоной нагрева |
|
|
Стабильность мощности |
≤2 Вт |
|
|
Нормальная рабочая отраженная мощность |
≤3 Вт |
|
|
Усиленная отраженная мощность |
≤70 Вт |
|
|
Гармонический компонент |
≤-50dBc |
|
|
Эффективность работы оборудования |
≥70% |
|
|
Коэффициент мощности |
≥90% |
|
|
Напряжение питания / частота |
Однофазный переменный ток (187 В ~ 153 В) Частотой 50/60 Гц |
|
|
Режим управления |
Внутренний контроль / аналоговый ПЛК / связь RS232 / 485 |
|
|
Настройки защиты питания |
Защита от перегрузки по постоянному току, защита усилителя мощности от перегрева, защита от отраженной мощности |
|
|
способ охлаждения |
Принудительное воздушное охлаждение |
|
|
Длина свечения |
В Ar источник радиочастотного питания и катушка объединены для создания свечения, и свечение может заполнять всю длину печи в трех зонах нагрева. |
|
|
Система подачи газа |
Четырехканальный массовый расходомер |
Массовый расходомер |
|
Диапазон расхода |
Диапазон MFC1: 0 ~ 200 см Диапазон MFC2: 0 ~ 200 см Диапазон MFC3: 0 ~ 500 см Диапазон MFC4: 0 ~ 500 см Соответствует газам H2, CH4, N2, Ar, |
|
|
точность измерений |
±1,5% F.S |
|
|
Повторяемость |
±0,2%FS |
|
|
Линейная точность |
±1% F.S. |
|
|
Время отклика |
≤4s |
|
|
Рабочее давление |
-0,15 МПа ~ 0,15 Мпа |
|
|
управление потоком |
Управление с сенсорным ЖК-экраном, цифровой дисплей, каждый газовый канал содержит игольчатый клапан для индивидуального управления |
|
|
Входной интерфейс |
Может подключаться к трубке из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/4 дюйма или 6 мм |
|
|
Интерфейс розетки |
Может подключаться к трубке из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/4 дюйма или 6 мм |
|
|
Способ подключения |
Dразъемный наконечник |
|
|
Рабочая температура |
5~45℃ |
|
|
Газовый премикс |
Оснащенных устройством предварительного смешивания газа |
|
|
Выхлопная система |
Механический насос |
Роторно-лопастной насос |
|
Скорость откачки |
1,1 Л / С |
|
|
Интерфейс выхлопа |
KF16 |
|
|
Измерение вакуума |
Датчик сопротивления |
|
|
Максимальный вакуум |
1.0E-1Pa |
|
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
|
|
Интерфейс перекачки |
KF16 |
|
|
Rail |
Длина рельса |
2,5 м ~ 3 м В печи с тремя зонами нагрева можно регулировать длину положения печи на одну позицию для достижения быстрого повышения и понижения температуры. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-PECVD-T01 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support