Система CVD с низким уровнем вакуума в одной зоне нагрева 1500 ℃ оснащена трехканальным массовым расходомером, который обладает высокой точностью и высокой надежностью. Он может точно смешивать 1 ~ 3 канала газа. Панель управления оснащена цифровым дисплеем, который интуитивно понятен и эффективен. При наличии особых потребностей вы можете обратиться к специалисту, чтобы настроить любое количество газовых каналов.
Технические характеристики
Система CVD низкого вакуума с одиночной зоной нагрева 1500 ℃ состоит из трубчатой печи с одиночной температурной зоной 1500 ℃, трехканального массового расходомера и двухступенчатого роторно-лопастного вакуумного насоса. Трубчатая печь управляется с помощью прецизионного прибора для ПИД-контроля температуры. Он может редактировать 30-сегментную программу повышения и понижения температуры и имеет функцию защиты от перегрева и короткого замыкания. Фланцы с обеих сторон трубы печи оснащены цифровым вакуумметром и механическим манометром давления, которые можно использовать для контроля атмосферы в трубе печи. В то же время трубчатая печь управляется с помощью сенсорного экрана высокой четкости true color, который прост в использовании. Даже непрофессионалы могут освоить использование прибора после простого обучения, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента.
Труба печи изготовлена из высокочистого оксида алюминия, а корпус печи имеет интегрированную конструкцию. Уникальная конструкция обеспечивает стабильность и безопасность системы при температуре 1500 ℃. Нагревательный элемент изготовлен из высококачественного кремниево-углеродного стержня, температура которого может достигать 1500 ℃. По желанию заказчика нагревательный элемент из кремниево-молибденового стержня может быть настроен для достижения более высокой температуры - 1700 ℃.
Применение
Подходит для высокотемпературного спекания, отжига металла, контроля качества и т.д. В университетах, научно-исследовательских институтах, промышленных и горнодобывающих предприятиях, особенно для экспериментов CVD, требующих различных сред смешивания газов.
Технические параметры
|
Вакуумная трубчатая печь |
Модель |
CY-O1500-60IT-3Z-LV |
|
|
Материал трубки |
Глинозем высокой чистоты |
||
|
Диаметр трубки |
60 мм (опционально 50 мм, 80 мм, 100 мм) |
||
|
Длина трубки |
1000 мм |
||
|
Длина камеры печи |
400 мм |
||
|
Длина зоны нагрева |
300 мм |
||
|
Зона постоянной температуры |
150 мм |
||
|
Рабочая температура |
≤1450℃ |
||
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
||
|
Режим контроля температуры |
30- или 50-сегментный программный контроль температуры |
||
|
Режим отображения |
ЖК-дисплей |
||
|
Способ герметизации |
вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
||
|
Фланцевый интерфейс |
соединительный наконечник 1/4 ", соединение KF16/25/40 |
||
|
Вакуум |
4.4E-3Pa |
||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
||
|
Система подачи газа |
Модель |
CY-3Z |
|
|
Газовый канал |
3-канальный |
||
|
Измерительный блок |
Массовый расходомер газа |
||
|
Диапазон измерения |
Канал A: 0~100 мкм H2 газа |
Примечания: Если вам нужны другие диапазоны или типы газа, вам необходимо указать при заказе. В соответствии с конкретными требованиями заказчика может быть выбран расходомер соответствующего типа и диапазона газа. |
|
|
Канал B: газ N2 0~300SCCM |
|||
|
Канал C: 0~ 500 куб. см Ar-газа |
|||
|
точность измерения |
±1,0% F.S |
||
|
Сопротивление давлению в трубе |
3 МПа |
||
|
Разница в рабочем давлении |
50~300 кПа |
||
|
Соединительная труба |
нержавеющая сталь 304 |
||
|
Газовый канал |
игольчатый клапан из нержавеющей стали 304 |
||
|
Спецификация интерфейса |
Соединительный наконечник 1/4 " для входа и выхода газа |
||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
||
|
Выхлопная система |
Механический насос |
Роторно-лопастной насос |
|
|
Скорость перекачки |
1,1 Л/С |
||
|
Интерфейс выхлопа |
KF16 |
||
|
Измерение вакуума |
Датчик сопротивления |
||
|
Максимальный вакуум |
1.0E-1Pa |
||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
||
|
Интерфейс перекачки |
KF16 |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-O1500-60IT-3Z-LV |
По запросу |
JoomShopping Download & Support