P11.X/Z/XY200 - ступень пьезо нанопозиционирования малой
величины. Диапазон перемещения может достигать 200 мкм. Для
достижения более высокой точности может быть выбран датчик
обратной связи с закрытым контуром. Доступны специальные
версии для низкотемпературного вакуума.
Технические характеристики
Чертежи
величины. Диапазон перемещения может достигать 200 мкм. Для
достижения более высокой точности может быть выбран датчик
обратной связи с закрытым контуром. Доступны специальные
версии для низкотемпературного вакуума.
Технические характеристики
|
Тип S-Закр.контур |
P11.X200S | P11.X200K | P11.Z200S | P11.Z200K | P11.XY200S | P11.XY200K | Ед. изм |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Активные оси | X | X | Z | Z | X, Y | X, Y | |
| Диапазон движения (0~120V) | 160 | 160 | 160 | 160 | 160/ось | 160/ось | μm±20% |
| Диапазон движения (0~150V) | 200 | 200 | 200 | 200 | 200/ось | 200/ось | μm±20% |
| Датчик | SGS | - | SGS | - | SGS | - | |
| Замк./разомк. контур. Разрешение | 10 | 4 | 5.5 | 2 | 10 | 5 | nm |
| Линейность | 0.05 | - | 0.15 | - | 0.05 | - | %F.S. |
| Воспроизводимость | 0.02 | - | 0.06 | - | 0.02 | - | %F.S. |
| Наклон/Отклонение/Вращение | <20 | <20 | <10 | <10 | - | - | μrad |
| Сила выталкивания/тяги | - | - | 70/6 | 70/6 | - | - | N |
| Совместимость с вакуумом | 10^-4 | 10^-4 | - | - | - | - | Pa |
| Жесткость | - | - | 0.45 | 0.45 | - | - | N/μm±20% |
| Резонансная частота без нагрузки | 0.3 | - | 0.18 | 0.18 | 0.1 | 0.1 | kHz±20% |
| Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага | 20 | 0.8 | 10 | 0.8 | - | - | ms±20% |
| Степень нагрузки | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | kg |
| Эл. емкость | 3.6 | 3.6 | 3.6 | 3.6 | 3.6/ось | 3.6/ось | μF±20% |
| Материал | Сталь, Алюм. | Сталь, Алюм. | Сталь, Алюм. | Сталь, Алюм. | Сталь, Алюм. | Сталь, Алюм. | |
| Масса | - | - | 170 | 170 | - | - | g±5% |
Чертежи
JoomShopping Download & Support