Трубчатая печь CVD с температурой 1400 °C (STGC-100-14)

Номер модели: STGC-100-14

Диаметр кварцевой трубки: Φ100 мм

Длина зоны нагрева: 300 мм

Постоянная температура: 1300℃

Максимальная температура: 1400 °C

Нагревательный элемент: стержень из карбида кремния (нагреватель SIC)

Источник питания: 220 В/ 5 кВт

Точность измерения температуры: ± 1 ℃

Термопара: S-образного типа

Технические характеристики

Химическое осаждение из паровой фазы в трубчатой печи при температуре 1400 °C (CVD) относится к методу химического взаимодействия газа или пара на поверхности подложки для синтеза покрытий или наноматериалов. Это наиболее широко используемая технология в полупроводниковой промышленности для нанесения различных материалов, включая широкий спектр изоляционных материалов, большинство металлических материалов и сплавов металлов.

Корпус печи

1. Корпус изготовлен из металлической низкоуглеродистой стали Q235, а поверхность обладает электростатической стойкостью и устойчивостью к коррозии.
2. Прочная двухслойная металлическая рама сочетается с теплоизоляционной конструкцией вентилятора, что обеспечивает низкую температуру поверхности печи
3. Горизонтальный режим работы, конструкция с верхним отверстием, прост в эксплуатации

Огнеупорный материал

Многослойная изоляционная конструкция, состоящая из легкого глиноземистого керамического волокна и высококачественной основы из изоляционных плит, не содержит асбестовых компонентов, обеспечивает низкие теплопотери и низкое энергопотребление

Система отопления

1. Высококачественный нагревательный элемент из спиральной резистивной проволоки SIC надежно закреплен на поверхности печи и нагревается за счет свободного теплового излучения в полости печи, что является энергосберегающим и эффективным решением, а также обеспечивает длительный срок службы
2. Кольцевой нагрев с помощью резистивной проволоки для достижения хорошей равномерности нагрева в печи

Панель управления температурой

1. Режимы управления PID и SSR, точный контроль температуры
2. Никель-хром-кремниевая термопара S-типа, стандартизованная на международном уровне, с диапазоном измерения температуры 0-1400 ℃ и длительным сроком службы
3. Дверца печи оснащена предохранительным выключателем для отключения питания при открывании дверцы

Программный контроллер

1. Усовершенствованные контроллеры, отвечающие сложным технологическим требованиям
2. Простое и непосредственное управление, гибкое программирование
3. Программируемые 30 программных сегментов для одной кривой
4. Сигнализация о перегреве и неисправностях, автоматическая защита от перегрева

Функция создания вакуумной атмосферы

1. С уплотнительным фланцем из нержавеющей стали марки 304 для создания вакуума или атмосферы в трубе печи
2. Рабочая трубка из высококачественного кварцевого стекла, металлическая или корундовая рабочая трубка также могут быть выбраны для адаптации к различным условиям работы
3. Высокопроизводительный биполярный роторно-лопастной вакуумный насос может обеспечивать разрежение до 5 па, а цифровой вакуумметр может отображать степень разрежения
4. При использовании блока управления воздушным контуром блок управления может выбирать 1-3-позиционную систему автоматического управления MFC

Технические параметры

Аксессуары