Высокотемпературная печь серии MF-HO

Бескислородные высокотемпературные печи серии MF-HO специально разработаны для удовлетворения потребностей в высокотемпературной выпечке сопутствующих продуктов в индустрии полупроводниковых интегральных схем.

Технические характеристики

Этот продукт подходит для специальной обработки полупроводниковых материалов, лабораторной верификации продукции и т.д.Для точного контроля температуры в духовке используется циклический режим нагрева.

1. Универсальная конструкция полости, эффективный диапазон рабочих температур до +500°C；
2. Между полостью и внешней коробкой находится не только высокоэффективный хлопок из керамического волокна, но и светоотражающая алюминиевая фольга и алюминиевый воздушный сэндвич для снижения теплопроводности во внутренней камере.

Управление технологическим процессом：

1. Многоступенчатое программное управление, полностью отвечающее различным технологическим потребностям объекта；
2. Благодаря поддержке программного обеспечения AUTORECIPE и программного обеспечения для контроля температуры в режиме реального времени оно может осуществлять управление рабочими параметрами печи, вести записи производственных операций, журналы работы печи и т.д. для повышения эффективности производства и контроля качества продукции.

Технические параметры

1. Мы можем предложить различные стандартные и нестандартные конструкции полостей, включая диапазон температур, размер емкости, форму печи и т.д.；
2. Равномерность температуры в соответствии с GBT30435-2013；
3. Безопасность оборудования соответствует стандартам TS16949/ISO14001/OHAS18001
4. Обеспечивают экономичную работу печи, равномерность температуры, стабильность температуры, скорость повышения температуры, время восстановления температуры и другие условия процесса.；
5. Интерфейс оборудования для тестирования полупроводниковой упаковки, соответствующий стандарту SECS/GEM, и заводское программное обеспечение позволяют полностью управлять печью и контролировать ее работу через интерфейс SECS/GEM.；
6. Обеспечьте соответствующее обнаружение шума в печи и поверхностное тестирование SGS；
7. Полное руководство пользователя продукта и инструкции по эксплуатации.

Базовая конфигурация функций：

1. Защита от протечек；
2. Электромагнитный дверной замок；
3. Нагревательный предохранитель；
4. Защита от потери фазы источника питания；
5. Защита от перегрева；
6. Криогенный протектор；
7. Защита нагревателя от высыхания；
8. Определение частоты вращения двигателя и защита от него；
9. Определение давления N2；

Выбор функции：

1. Определение расхода N2；
2. Обнаружение соединения при высоких и низких температурах；
3. Автоматический выпускной клапан；
4. Устройство для улавливания осадка отходящих газов；