Серия автоматических печей MF-AO

Серия автоматических печей MF-AO предназначена специально для использования на автоматизированных производственных линиях полупроводниковых интегральных микросхем. Они совместимы с автоматизированными системами, такими как AGV, ROBOT и другими, обеспечивая бесперебойную работу без участия человека и обеспечивая безопасность производства.

Технические характеристики

Эта печь подходит для обработки полупроводников, изготовления LCD панелей, PDP-панелей, сенсорных экранов и других производственных процессов.

1. Автоматизированная операционная система удовлетворяет потребность в беспилотной работе на месте. Система автоматического открытия и закрытия дверей полностью интегрирована в систему автоматизации завода и работает по дистанционным инструкциям и обратной связи.
2. Это более безопасная печь с функциями, такими как автоматическое определение состояния двери, блокировка действий и множество мер защиты для предотвращения взаимных помех между системами.
3. Печь использует двойные двери: автоматическая дверь обеспечивает автоматическое производство, а ручная дверь используется для обслуживания и чрезвычайного производства. Корпус выполнен из нержавеющей стали зеркальной поверхности и использует интегрированный сварочный процесс, обеспечивающий чистоту внутри печи во время работы и предотвращая загрязнение поверхности продукта. Общий дизайн рамы может быть связан с внешним транспортным оборудованием для обеспечения последовательных действий.

Управление процессом:

Система нагрева печи использует многоуровневое программное управление, чтобы удовлетворить различные требования процесса на месте. Она может работать с программным обеспечением управления производством MES, CIM, EAP и другими для мониторинга температуры, управления параметрами работы продукта и ведения записей о производственной деятельности.

Технические параметры

1. Может предоставляться различные стандартные и нестандартные конструкции камер, включая диапазон температур, вместимость и форму печи и т. д.
2. Равномерность нагрева соответствует GBT 30435-2013;
3. Безопасность оборудования соответствует стандартам TS16949/ISO14001/OHSAS18001.
4. Предоставляет высокий уровень производительности печи по соотношению цена-качество. Условия процесса, такие как равномерность температуры, стабильность температуры, скорость нагрева, время восстановления температуры и т. д.;
5. Удовлетворяет стандартам SECS/GEM для интерфейсов испытательного оборудования полупроводникового упаковывания, заводское программное обеспечение может полностью контролировать и мониторить печь через их интерфейс SECS/GEM;
6. Предоставляет соответствующие отчеты о проверке, отчеты о калибровке температуры печи, исследование уровня шума в печи, проверку на SGS на поверхности печи и т. д.;
7. Полное руководство по использованию продукта и инструкции.

Основные функциональные компоненты:

1. Устройство защиты от утечки тока;
2. Электромагнитный замок на двери;
3. Предохранитель нагревательных элементов;
4. Защита от отсутствия фазы в электросети;
5. Термозащитное устройство от перегрева;
6. Термозащитное устройство от недостаточной температуры;
7. Защита нагревателя от сухого нагрева;
8. Защита от перегрузки по скорости вращения двигателя;
9. Блок бесперебойного питания;
10. UPS；
11. Датчик контроля давления сжатого воздуха;
12. Датчик контроля потока азота;
13. Датчик контроля потока воды.

Дополнительные опции:

1. Онлайн-детектор содержания кислорода в камере;
2. Обнаружение с высоко- и низкотемпературной связью;
3. Датчик контроля давления в камере;
4. Автоматический вентиль для вытяжной системы;
5. Устройство для рециркуляции и очистки отходящих газов;
6. Система сжигания отходов в камере;
7. Устройство фильтрации и очистки воздуха в камере.