Вакуумная печь серии MF-VO

Оборудование для анаэробных вакуумных печей серии MF-VO специально разработано для удовлетворения потребностей полупроводниковой промышленности в печах с поддержкой интегральных схем. Оно отличается передовыми конструктивными, решениями и технологиями, обеспечивающими превосходное качество.

Технические характеристики

Этот продукт предназначен для обработки крупных полупроводниковых чипов, панелей, модулей и других процессов вакуумного удаления пузырей. Используется для удаления пузырей, возникающих в процессе склейки. Эта печь сначала производит вакуумное удаление пузырей, затем проводит непрерывное нагревание без доступа кислорода.

1. Используется сверхвысоковакуумный насос и устройство контроля сверхвысокого вакуума для полного контроля за уровнем вакуума на протяжении всего процесса;
2. Многократная защита от давления и устройства безопасности;
3. Дизайн с визуальным окном.

Управление процессом:

1. Многозонное программное управление, уровень вакуума, температура, время полностью соответствуют заданной программе, полностью отвечают требованиям различных технологических процессов на месте;
2. Софт AUTORECIPE для управления температурой, давлением и временем, позволяющий осуществлять управление параметрами работы печи, ведение записей о производственных операциях и журнал действий печи, повышая производительность и контролируя качество продукции.

Технические параметры

1. Равномерность температуры в соответствии с GBT30435-2013;
2. Безопасность оборудования соответствует стандартам TS16949/ISO14001/OHAS18001;
3. Обеспечение экономичной производительности печи. Условия технологии, такие как равномерность температуры, стабильность температуры, скорость повышения температуры, время восстановления температуры и т. д.;
4. Интерфейс оборудования для упаковки и тестирования полупроводников, соответствующий стандартам SECS/GEM. Заводское программное обеспечение может полностью контролировать и контролировать печь через интерфейс SECS/GEM;
5. Предоставляет соответствующую проверку шума и поверхностный анализ SGS печи;
6. Предоставляет полное руководство по использованию продукта и инструкции.

Основные функциональные конфигурации:

1. Защита от протечек；
2. Нагревательный предохранитель；
3. Защита от потери фазы источника питания；
4. Защита от перегрева；
5. Криогенный протектор；
6. Устройство для выпуска кислорода из камеры；
7. Ручной клапан сброса давления в камере；
8. Освещение камеры；
9. Нагревательные и охлаждающие перегородки；
10. Устройство для определения высокого и низкого давления в камере；
11. Контур охлаждения и выпуска отработавших газов вакуумного насоса；

Опции функций:

1. Измерение потока N2;
2. Детекция температуры в высоком и низком режимах;
3. Измерение давления в камере;
4. Автоматический клапан сброса давления.