Разъемная печь Max с двумя раздвижными трубками RTP для исследования дисульфида молибдена (MOS2)

Печь

Двухслойный стальной корпус с воздушным охлаждением
Высокой чистоты глинозема волокна утеплитель для Макса. энергосбережение
Splitable крышка для легкой замены трубки

Мощность

5 кВт

Входное напряжение

Переменный ток 208-240 В однофазный, 50 или 60 Гц

Максимальная
Температура

1200℃

Непрерывная
Температура

1100℃

Максимальная
Скорость нагрева

<= 20 ℃/мин

Длина зоны нагрева

Три зоны: (880 мм, всего 35 дюймов)
Зона 1: 220 мм (8,6 дюйма)
Зона 2: 440 мм (17,3 дюйма)
Зона 3: 220 мм (8,6 дюйма)

Зона постоянной
температуры

Если три зоны настроены на одинаковую температуру, длина зоны постоянной температуры
составляет 25 дюймов
(625 мм) с разницей температур +/- 1 ℃.
При использовании только одной зоны (центральной зоны) длина зоны постоянной температуры составляет 4,3 дюйма
(110 мм)
с разницей температур +/- 1 ℃.

Температурная
точность

+/- 1℃

Нагревательные
элементы

Сплав Fe-Cr-Al, легированный Mo

Регулятор температуры

Три прецизионных регулятора температуры для раздельного управления тремя зонами.
Автоматическое ПИД-регулирование с 30 программируемыми сегментами для точного контроля
скорости нагрева, охлаждения и времени выдержки.
Встроенная защита от перегрева и поломки термопары.
Защита от перегрева и аварийная сигнализация позволяют работать без
обслуживающего персонала.
точность измерения температуры +/- 1 °C.
Коммуникационный порт RS485..

Кварцевая трубка и
уплотнительные фланцы

80 мм O.D x 72 мм ID. x 1400 мм трубка из плавленого кварца входит в комплект поставки.
Вакуумные фланцы с клапанами и манометром входят в комплект поставки.
Термоблок должен быть размещен внутри трубы, как показано на рисунке ниже

Вакуумная герметизация
фланцев

Два фланца из нержавеющей стали с вакуумметром и клапанами в комплекте.
Минимальное давление вакуума, достигаемое механическим насосом, составляет 5,5 м/торр.
(5,5x10 ^-3 торр).
Давление может достигать 10 ^-5 торр при использовании механического + молекулярного насоса.
Скорость утечки составляет <5 м/мин а стабильное вакуумное давление через 24 часа
составляет <2 торр.

Контроль кислорода

Датчик кислорода может использоваться для контроля уровня кислорода в газах, используемых
в системах CVD
для предотвращения или уменьшения окисления. Пожалуйста, нажмите на картинку ниже, чтобы
узнать больше:

Вакуумный насос

В комплект входит роторно-лопастной вакуумный насос объемом 120 л/м с макс. давление вакуума
10 ^-2торр. В комплект входит шланг из нержавеющей стали для подключения к трубчатой
печи.

Расходомер газа
и
измеритель давления
 

Внутри передвижного корпуса установлены три расходомера газа (точность FS 4%),
чтобы
обеспечить контроль расхода газа
Компактный расходомер прямого считывания, 10-100 куб.см/мин.
Компактный расходомер прямого считывания, 16-160 куб. см/мин.
Компактный расходомер прямого считывания, 25-250 куб. см/мин.

Клапаны

Четыре клапана из нержавеющей стали установлены на боковой панели передвижной тележки для
раздельного управления смешиванием трех поступающих газов

Размеры

Размер печи: 1100 X 450 x 670 мм
Нижний подвижный корпус: 600x600x597 мм

Модель

Стоимость, доллары США

CY-1200-80IIIC

По запросу