CY-1200X-80HG - это двухзонная трубчатая печь с двухканальным регулированием расхода газа, жидкостным испарителем, датчиком влажности, а также детектором утечки газообразного водорода. Такая система предназначена для исследования горячей коррозии или CVD-обработки газообразным водородом в условиях контролируемой влажности. Один из двух трубопроводов CVD-газа, проходящих через жидкостный испаритель, способствует подаче паров жидкости. Прецизионный цифровой монитор влажности может измерять содержание воды с точностью +/-1,5% FS. Входящий в комплект водородный монитор немедленно отключит впускной клапан для газообразного водорода при обнаружении утечки газообразного водорода.
Описание
CY-1200X-80HG - это двухзонная трубчатая печь с двухканальным регулированием расхода газа, жидкостным испарителем, датчиком влажности, а также детектором утечки газообразного водорода. Такая система предназначена для исследования горячей коррозии или CVD-обработки газообразным водородом в условиях контролируемой влажности. Один из двух трубопроводов CVD-газа, проходящих через жидкостный испаритель, способствует подаче паров жидкости. Прецизионный цифровой монитор влажности может измерять содержание воды с точностью +/-1,5% FS. Входящий в комплект водородный монитор немедленно отключит впускной клапан для газообразного водорода при обнаружении утечки газообразного водорода.
Технические параметры
|
Конструкция печи
|
Двойной кожух с охлаждающими вентиляторами Волокнистая изоляция из оксида алюминия высокой чистоты для макс. энергосбережение Разъемная крышка обеспечивает более быстрое охлаждение и простоту эксплуатации Для обеспечения безопасности в комплект поставки входят детектор водорода и электромагнитный клапан Жидкостный испаритель нагревается с помощью прецизионного регулятора температуры для получения смеси водорода и паров жидкости. Печь на водородном газе должна располагаться под вытяжным колпаком, который в комплект поставки не входит. |
|
Мощность |
4 кВт Макс. |
|
Входное напряжение |
Однофазный переменный ток 208-240 В (требуется воздушный выключатель 30 А) |
|
Нагревательные элементы |
FeCr27Al7MO2 |
|
Длина зоны нагрева |
Две зоны нагрева: длина каждой зоны 8 дюймов (200 мм), общая зона постоянной температуры 16 дюймов (400 мм): 150 мм в пределах +/-1℃ при одинаковой температуре в двух зонах |
|
Равномерность температуры |
+/- 1°C в зоне нагрева |
|
Постоянная рабочая температура |
1100°C |
|
Рекомендуемая скорость нагрева |
10 ° C / мин |
|
Технологическая труба и фланцы |
Кварцевая трубка высокой чистоты: Φ 80 (OD) × Φ 74 (ID) ×1000 л, мм Вакуумный фланец: В комплект поставки входят фланцы SS304 для создания вакуума до 10 - 5 торр с помощью турбонасоса. |
|
Регуляторы температуры |
Два цифровых регулятора температуры, сертифицированных MET, с 30 программируемыми сегментами для точного регулирования скорости нагрева, охлаждения и времени выдержки. Встроенная функция автоматической настройки PID с защитой от перегрева и поломки термопары. Защита от перегрева и аварийная сигнализация позволяют работать без обслуживающего персонала. Точность измерения температуры +/- 1 ° C. Порт RS485 установлен перед панелью для подключения к ПК В комплект поставки входит модуль управления ПК и программное обеспечение для компьютеризированного контроля температуры. |
|
Поплавковый расходомер |
На газозаборниках установлены два расходомера 50-500 мл/мин. Один расходомер предназначен для подачи водорода, а другой - в основном для сжиженного газа с парами жидкости Дополнительный расходомер предоставляется по запросу и за дополнительную плату. Вы можете рассмотреть возможность использования нашей заправочной станции с массовым расходом 1-9 каналов для более точного контроля газа |
|
Барботер / Испаритель жидкости |
Такой жидкостный испаритель подходит для подачи жидких источников и химических прекурсоров в процессах CVD. В комплект поставки входит один контейнер из нержавеющей стали емкостью 600 мл (80OD x 200H, мм) Контейнер вставляется в небольшой цилиндрический нагреватель с теплоизоляцией Емкость может нагреваться до 250 ° C и управляться прецизионным программируемым регулятором температуры. В контейнер встроены два игольчатых клапана SS и один манометр |
|
Контроль влажности (входит в комплект) |
Один прецизионный датчик влажности подключается к фланцу технологической трубы с помощью адаптера KF25 Диапазон измерений: 0-100 % относительной влажности с точностью 1,5 % FS или -60° ~ +60° DP с точностью +/-0.3°. Советы: Вы можете регулировать температуру испарителя (воды внутри) и расход газа H2 для достижения желаемого уровня влажности. |
|
Система обнаружения водорода |
Диапазон рабочих температур: от 40 ° C), а также от Точка срабатывания: Уровень взрывоопасности H2 ограничен 10 % (10 % LEL). При обнаружении превышения нормы газа H2 впускной клапан H2 автоматически отключается. |
|
Гарантия |
Ограниченная гарантия на один год (на расходные детали, такие как технологические трубки, уплотнительные кольца и нагревательные элементы, гарантия не распространяется). |
|
Размеры печи |
1400 × 600 × 1200 мм |
|
Вес нетто продукта |
100 кг |
|
Предупреждение |
Трубчатые печи с глиноземными трубками предназначены для использования в условиях вакуума и низкого давления <0,12 атм (абсолютное давление) Скорость потока газов должна быть ограничена до <200 МКСМ (или 200 мл /мин) для уменьшения тепловых ударов по трубе Внимание: На газовом баллоне должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления, ограничивающий давление ниже 3 фунтов на квадратный дюйм для безопасной работы. Определение предельного вакуума для всех кварцевых трубчатых печей: * Давление вакуума может безопасно использоваться только при°C до 1000 |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-1200X-80HG |
По запросу |
JoomShopping Download & Support