Двухзонная печь Css для быстрой термообработки пластин диаметром до 5 дюймов при температуре не более 800°C

Конструкция печи
Вакуумная камера
 
 

Печь, два регулятора температуры, двухканальные расходомеры газа встроены в подвижную раму из алюминиевого сплава
Камера изготовлена из трубки из плавленого кварца высокой чистоты
Размер кварцевой трубки: 11 "OD / 10,8 " ID x 9 " H
Вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316

Вакуумные фланцы

Верхний фланец с одним вакуумным отверстием KFD-25 и одним выходом газа (требуется труба 1/4 дюйма) может подниматься или опускаться вручную для легкой загрузки и выгрузки субстрата и испаряемого материала
Нижний фланец имеет одно вакуумное отверстие KFD-25 с одним входом газа (требуется труба 1/4 дюйма) с игольчатыми клапанами
Фланец герметизирован двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать макс. давление вакуума составляет 10E-2 Торр с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Торр с помощью молекулярного насоса
На верхнем фланце установлен цифровой вакуумметр.
Прецизионный антикоррозийный цифровой вакуумметр предоставляется дополнительно за дополнительную плату (рис. 2)

Расходомеры газа
 
 

Газовый смеситель, встроенный в два поплавковых счетчика с регулируемыми диапазонами измерения:
16-160 мл/м
500-5000 мл/м (для продувки)

Нагреватель и
держатель для образцов
 
 

Два независимо управляемых нагревателя с регулируемым вручную зазором от 2 до 30 мм
В качестве нагревательного элемента для быстрой термической обработки используются 20 шт галогенных ламп.
Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной рубашкой для уменьшения теплового излучения и быстрого охлаждения.
Диаметр 5 дюймов. в верхний нагреватель встроен круглый держатель для пластин для удержания подложки.
В комплект входит один комплект пластин AlN с высокой теплопроводностью (диаметр 5 дюймов x толщина 0,5 мм) (размещайте на обратной стороне подложки, чтобы она нагревалась равномерно).
Для экономии источника воды в комплект поставки входит охладитель рециркуляционной воды объемом 16 л/мин.

Регулятор температуры

Два прецизионных цифровых регулятора температуры с программируемыми 30 сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями
Каждый контроллер оснащен функцией автоматической настройки PID для защиты нагревателей от перерегулирования и функцией сигнализации для предотвращения перегрева и разрыва тепловой пары
Установлен интерфейс связи с ПК и программное обеспечение для (нажмите на картинку ниже для получения подробной информации) записи профиля температуры, показанного ниже

Рабочая температура

Максимальная температура для каждого нагревателя: <= 800ºC
Максимальная разница температур между двумя нагревателями: <= 300ºC зависит от расстояния между двумя нагревателями:
расстояние 30 мм
Максимальная разница температур: 315ºC только при нагреве снизу

Скорость нагрева и охлаждения

Нагрев: > 8ºC/с (только для нагрева одним нагревателем)
Охлаждение: > 10ºC/с (600-100 ° C) Макс.

Термический пар

Две термические пары типа K устанавливаются отдельно на верхний и нижний нагреватели

Рабочее напряжение

208-240 В переменного тока, однофазная, воздушный выключатель 20А

Потребляемая мощность

Общая мощность 2200 Вт (по 1100 Вт на каждый нагреватель)

Гарантия

Срок службы ограничен одним годом

Размеры

1085 мм Д x 680 мм Ш x 1710 мм В

Модель

Стоимость, доллары США

CY-OTF-1200X-RTP-II-5

По запросу