PVT-печь для выращивания кристаллов карбида кремния

Модель: Печь для выращивания кристаллов карбида кремния PVT диаметром 6 ~ 8 дюймов (индукционного типа)

Индукционный нагрев используется для выращивания кристаллов SiC высокой чистоты в кварцевой трубке/полости из нержавеющей стали с использованием физического переноса пара (PVT).

Технические характеристики

• Метод нижней подачи способствует реализации автоматизации производства.
• Вращение теплового поля, подъемная катушка, используется для регулировки температурного поля.
• Самостоятельно разработать операционную систему дистанционного мониторинга удаленной сети для достижения полностью автоматического контроля процесса роста кристаллов;
• Иерархические полномочия облегчают управление параметрами процесса;
• Дистанционное управление для обеспечения автоматической работы.
• Стабильность контроля температуры и давления; точность повторного позиционирования, быстрое вакуумирование и длительное вакуумное удержание.
• Компоновка компактна и разумна, вся машина имеет рамную конструкцию, а электрический блок управления и источник нагрева умело объединены в одно целое.
• Электрический подъемник для загрузки и разгрузки, лоток можно выдвигать горизонтально после того, как он опущен в самое нижнее положение, а электроподъемная крышка печи экономит время, усилия, безопасность и надежность.
• Оснащенный двусторонней вакуумной системой, высокая точность используется для контроля давления роста кристаллов, а нормальная точность используется для вакуумирования.

Технические параметры