Оборудование для осаждения монокристаллических алмазов MPCVD

Получение высококачественного монокристаллического алмаза методом химического осаждения из газовой фазы.

Получение высококачественных самонесущих толстых пленок поликристаллического алмаза методом химического осаждения из газовой фазы.

Получение высококачественных тонких пленок поликристаллического алмаза методом химического осаждения из газовой фазы.

Получение различных углеродных нанопленок, таких как графен, углеродные нанотрубки, фуллерены и алмазные пленки, методом химического осаждения из газовой фазы.

Технические характеристики

Данный продукт представляет собой микроволновое плазменное оборудование мощностью 6 кВт с высокой плотностью мощности из нержавеющей стали;

Подложка с водяным охлаждением и металлическая отражательная камера с водяным охлаждением обеспечивают стабильную работу системы в течение длительного времени;

Температура подложки достигается за счет самонагрева микроволновой плазмы;

Прибор для измерения вакуума оснащен полномасштабным вакуумметром, который может точно измерять фоновый вакуум и давление рабочего газа;

В вакуумном насосе и клапане используется турбомолекулярный насос (максимальный вакуум составляет 1 ×10-5 па) и механический вакуумный насос с вращающимися лопастями (максимальный вакуум составляет 1 па), и система может автоматически регулировать давление напыления;

Оснащен системой циркуляции охлаждающей воды для обеспечения долговременной безопасной и стабильной работы устройства при высокой мощности;

Система оснащена 15-дюймовым сенсорным экраном, автоматическим управлением ПЛК, можно установить постоянную температуру или давление воздуха, а также сохранить и повторно использовать до 20 наборов технологических файлов;

Полностью автоматический модуль управления технологическим процессом для стабильного и надежного получения высококачественных алмазных пленок и кристаллов

Области применения

Получение высококачественного монокристаллического алмаза методом химического осаждения из паровой фазы

Получение высококачественных самонесущих толстых пленок из поликристаллического алмаза методом химического осаждения из паровой фазы

Получение высококачественных тонких пленок поликристаллического алмаза методом химического осаждения из паровой фазы

Получение различных углеродных нанопленок, таких как графен, углеродные нанотрубки, фуллерены и алмазные пленки методом химического осаждения из паровой фазы

Технические параметры