Машина для выращивания алмазов mpcvd

Технические характеристики

Микроволновый генератор

- Генератор микроволн SAIREM мощностью 10 кВт (источник питания с переключаемым режимом)

- Частота магнетронных микро-волн 2,45 ГГц

- Циркулятор и изолятор

- Элемент настройки EH с автоматическим управлением

Источник плазмы

- Источник плазмы 6 дюймов, частота возбуждения 2,45 ГГц

- Способна работать в плазме с низкой и высокой плотностью мощности

- Уникальные возможности контроля температуры при высоких плотностях мощности

- Ввод газа в камеру снизу

- Электрод смещения

Держатель подложки

- Сменный держатель подложки с:

- Охлаждающий элемент (appox D75mm)

- Сменная пластина держателя для легкой очистки и обслуживания

- Детали, контактирующие с молибденовой плазмой

- Автоматическая регулировка высоты во время роста

- Откидная крышка для легкого доступа к подложке и ее очистки

- Структура из алюминиевого сплава с водяным охлаждением

Система управления газом

- 5 газопроводов, включая 5 регуляторов массового расхода (дополнительно по запросу)

- Система MFC

- Диапазон регулирования давления: 100-300 мбар

Вакуум

- Турбомолекулярный насос + сухой первичный насос

Контроллер CVD

- Работа с компьютерным контроллером, управляемая рецептурой

- Дистанционное управление, обнаружение, модернизация системы

- Камера для подложки (опция)

- Диапазон измерения пирометра: 400-1700°C

Данные о росте