Плазменный очиститель использует свойства этих активных компонентов для обработки поверхности образца, чтобы достичь цели очистки, нанесения покрытия и т.д.
Технические характеристики
Плазменный очиститель - это новая высокотехнологичная технология, которая использует плазму для достижения эффектов, которые невозможно достичь обычными методами очистки. Плазма - это состояние вещества, также называемое четвертым состоянием вещества, и это не обычные три состояния твердого вещества, жидкости и газа. Приложите к газу достаточно энергии, чтобы он ионизировался и превратился в плазму. К "активным" компонентам плазмы относятся: ионы, электроны, атомы, активные группы, возбужденные нуклиды (метастабильные состояния), фотоны и т.д. Плазменный очиститель использует свойства этих активных компонентов для обработки поверхности образца с целью достижения цели очистки, нанесения покрытия и т.д.
Особенности очистителя плазмы объемом 5 л:
Камера имеет большую полезную площадь, равномерно светится и может очищать 6-дюймовые кремниевые пластины.
Технические параметры
|
Основные детали |
Изделие |
Параметры |
|
Камера для очистки |
Материал камеры |
SS304 |
|
Размер камеры |
200x160x240 мм |
|
|
Способ соединения |
Емкостная муфта |
|
|
Радиочастотный источник питания |
Особенности источника питания |
Источник питания является полностью твердотельным радиочастотным источником питания и оснащен высокостабильным и высоконадежным модулем усилителя мощности и модулем постоянного тока, который эффективно обеспечивает выходную радиочастотную мощность источника питания. Для обеспечения надежности изделий используются высококачественные электронные компоненты. |
|
Преимущества в мощности |
Длительное время нормальной работы Простое и гибкое управление Высокая эффективность источника питания и низкое тепловыделение С идеальной функцией защиты от отражающей способности |
|
|
Радиочастотная мощность |
0 ~ 300 Вт с плавной регулировкой |
|
|
Частота сигнала |
13,56 МГц ±0,005% |
|
|
Отраженная мощность |
≤100 Вт |
|
|
Стабильность мощности |
±0.1% |
|
|
Радиочастотный разъем |
Разъем типа N |
|
|
Эффективность работы машины |
≥75% |
|
|
Гармоническая составляющая |
≤-50 dBc |
|
|
Способ охлаждения |
Принудительное воздушное охлаждение |
|
|
Измерение газа |
Измерительный блок |
Двухканальный массовый расходомер Ar 0 ~ 200 мкм; O2 0 ~ 200 мкм, настраиваемый Другие параметры указаны в предыдущих продуктах |
|
Вакуум |
Измерение вакуума |
Цифровой вакуумметр (датчик сопротивления) |
|
Вакуумный насос |
Двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос |
|
|
Частота вращения двигателя |
50 Гц: 1440; 60 Гц: 1720 |
|
|
Скорость откачки |
50 Гц: 240 л/мин; 60 Гц: 288 л /мин |
|
|
Диапазон вакуума |
0,1Па~10000 Па |
|
|
Максимальный вакуум |
0,5 Па |
|
|
Шум двигателя |
≤56 дБ |
|
|
Интерфейс трубы |
Вход для газа: KF16; выпускное отверстие KF16. |
|
|
Соединительная труба |
Вакуумный сильфон KF16 |
|
|
Вакуумный клапан |
Шаровой кран KF16 |
|
|
Мощность двигателя |
400 Вт |
|
|
Прочее |
Источник питания |
220 В переменного тока 50/60 Гц |
|
Общая мощность |
800 Вт |
|
|
Рабочая температура |
-10℃--40℃ |
|
|
Рабочий вакуум |
≤40Па |
|
|
Габаритные размеры |
600 мм×650 мм×560 мм |
|
|
Общий вес |
80 кг (включая упаковку) |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
5L plasma cleaner (capacitive coupling) |
По запросу |
JoomShopping Download & Support