Небольшая машина для нанесения покрытий методом плазменного напыления и испарения "два в одном" оснащена мишенью для распыления постоянным током и узлом термического испарения, который можно использовать не только для нанесения металлических пленок методом плазменного напыления, но и для получения пленок углерода или других элементов металла путем испарения.
Технические характеристики
Машина для нанесения покрытий методом плазменного напыления и испарения "два в одном" оснащена мишенью для распыления постоянным током и узлом термического испарения, который можно использовать не только для нанесения металлических пленок методом плазменного напыления, но и для получения углеродных или других металлических пленок методом испарения. Компоненты прибора высокоинтегрированы, что позволяет выполнять два вида функций нанесения покрытия в одной камере. В этой машине для нанесения покрытия в качестве вакуумной камеры используется кварцевая камера высокой чистоты, и процесс нанесения покрытия полностью виден. Прибор оснащен двухступенчатым роторно-лопастным вакуумным насосом, который позволяет быстро достигать степени разрежения 1,0 E-1pa и может соответствовать условиям вакуума, требуемым для большинства экспериментов по нанесению покрытий методом испарения и диодного распыления. Этот прибор имеет небольшие размеры, что позволяет экономить место и может использоваться на испытательном стенде. Одна машина может использоваться для нескольких целей, что экономически выгодно и очень подходит для крупных университетов и исследовательских институтов.
Применение
Напыление золота на поверхность образца под сканирующим электронным микроскопом, напыление углем с пропариванием золота и другие операции, а также изготовление испытательного электрода из непроводящего материала.
Технические параметры
|
Этап отбора образцов |
Размер |
φ80 мм |
|
Расстояние до источника испарения |
регулируется на 20 мм ~ 50 мм |
|
|
Распылительная головка постоянного тока |
Количество |
2” ×1 |
|
Система испарения |
Источник испарения |
Корзина из вольфрамовой проволоки |
|
Максимальная температура |
1700℃ |
|
|
Термический пар |
Термопара типа S |
|
|
Вакуумная камера |
Размер камеры |
φ180 мм×150 мм |
|
Материал камеры |
Кварц высокой чистоты |
|
|
Окно наблюдения |
Всенаправленная прозрачность |
|
|
Режим открытия |
Верхняя крышка снимается |
|
|
Вакуумная система |
Механический насос |
Роторно-лопастной насос |
|
измерение вакуума |
Датчик сопротивления |
|
|
Насосный соединитель |
KF16 |
|
|
Выпускной патрубок |
KF16 |
|
|
Максимальный вакуум |
1,0E-1Pa |
|
|
Источник питания |
Переменный ток; 220 В 50/60 Гц |
|
|
Скорость откачки |
Роторно-лопастной насос:1,1 л/С |
|
|
Конфигурация мощности распыления |
Количество |
Источник питания постоянного тока x1 |
|
Максимальная выходная мощность |
150 Вт |
|
|
Другое |
Напряжение питания |
220 В переменного тока, 50 Гц |
|
Общая мощность |
1,5 кВт |
|
|
Габаритные размеры |
360 мм×300 мм×470 мм |
|
|
Общий вес |
20 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-EVS180G-LV |
По запросу |
JoomShopping Download & Support