Перчаточный ящик на солнечных батареях из перовскита

Эта машина может быть использована в материаловедении, физике, химии, микроэлектронике, оптоэлектронике, энергетике, катализе, нанотехнологиях и других областях.

Применение

Данное оборудование используется для получения многокомпонентных, многослойных композитных материалов плотной плотности металл / неметалл, оксид металла / нитрид / оксид азота, оксид неметалла / нитрид / оксид азота и других тонкопленочных материалов одинаковой толщины. Мишень может быть однокомпонентным или многокомпонентным материалом (включая материал магнитной мишени) из металла / неметалла, или однокомпонентным или многокомпонентным материалом из соединения металл / неметалл. Образцы могут быть отожжены на месте нанесения тонкой пленки в вакуумной камере системы оборудования. Кроме того, образцы после нанесения покрытия магнетронным распылением могут быть селенизированы и сульфурированы.

Он может быть использован в материаловедении, физике, химии, микроэлектронике, оптоэлектронике, энергетике, катализе, нанотехнологиях и других областях.

Технические характеристики

• Система состоит из помещения для ввода пробы, помещения для сульфуризации / селенизации, двух камер распыления (3 мишени + 4 мишени), системы управления распылением, системы отопления, системы измерения вакуума, насосной системы, системы управления подачей пробы и атмосферы. Система управления, система охлаждения с циркуляцией воды, электронная система управления для завершения процесса подготовки образцов и компьютерная /сенсорная система программного управления и т.д.;
• Система оснащена роботизированной рукой, которая может перемещать образец в условиях вакуума для обеспечения перемещения образца между камерами. Вакуум в соответствующей камере восстанавливается до уровня, который был до переноса пробы, в течение 15 минут после завершения переноса пробы между камерами;
• Две камеры распыления позволяют осуществлять совместное распыление в 3-х и 4-х целевых положениях соответственно, при этом отсутствуют взаимные помехи между источником питания и другими системами. Каждая мишень распыляется независимо от других мишеней и не загрязняет другие мишени. материал;
• Система обладает совершенной автоматической функцией защиты, при которой выпускное отверстие печи селенизации / сульфуризации имеет меры защиты от паровой эрозии;
• Конструкционные материалы каждой камеры изготовлены из высококачественной нержавеющей стали, аргонодуговой сварки и полировки поверхности.