Технические характеристики
Особенности:
- Резервуар для роста имеет сферическую форму и изготовлен из нержавеющей стали SS316;
- Модульная конструкция удовлетворяет текущие потребности материаловедения и предоставляет возможности для будущего расширения;
- Компактная структура с малой занимаемой площадью;
- Конфигурация и технические характеристики соответствуют требованиям высокоточного производства тонких пленок;
- Широкий спектр применения, включая сверхпроводящие пленки, топологические изоляторы, переходные металлические халькогениды (TMDCs), гетероструктуры, органические материалы и др.
Технические параметры
|
Для выращивания |
Максимальный вакуум в камере выращивания: <5×10-10 мбар |
|
Система перекачки сверхвысокого вакуума: молекулярный насос со скоростью 300 л /с, включая механический насос предварительной ступени и вспомогательный вакуумный трубопровод, предохранительный клапан и т.д. |
|
|
Измерение вакуума: ионный манометр и вакуумметр, охватывающие диапазон измерения от 2 × 10-11 мбар до атмосферного давления и интегрированные с системой контроля вакуума для обеспечения безопасности системы. |
|
|
4-осевой держатель образца (горизонтальная установка): соответствует стандартному держателю образца, рабочая температура: комнатная температура-1200 К; дополнительный низкотемпературный модуль (охлаждение жидким азотом), модуль электронно-лучевого нагрева или модуль прямого нагрева |
|
|
Он включает в себя прибор для измерения толщины пленки (QCM) и вспомогательный линейный привод для обеспечения мобильной работы датчика кварцевого генератора. |
|
|
Порты установки источника испарения: 4; источники испарения с низким, средним, высоким и электронно-лучевым уровнем могут быть сконфигурированы в соответствии с реальными потребностями пользователей |
|
|
Дополнительный источник ионов |
|
|
Дополнительный дифрактометр высокоэнергетических электронов |
|
|
Комната для быстрых инъекций |
Фоновый вакуум: <5×10-8 мбар |
|
Система перекачки сверхвысокого вакуума: молекулярный насос со скоростью 80 л / с, включая механический насос предварительной ступени и вспомогательный вакуумный трубопровод, предохранительный клапан, выпускной клапан и т.д. |
|
|
Измерение вакуума: полнофункциональный вакуумметр, охватывающий диапазон измерения от 5 × 10-9 мбар до атмосферного давления и интегрированный с системой контроля вакуума для обеспечения безопасности системы. |
|
|
Примерная парковочная платформа: 6 парковочных мест (может быть увеличено до 12 парковочных мест) |
|
|
Устройство для переноса образца: стержень для переноса образца с ходом 600 мм, включая держатель образца, захватную головку и фланцевый регулятор. |
|
|
Шиберный клапан VAT CF63, используемый для отделения камеры выращивания от камеры быстрого впрыска |
|
|
Системная интеграция и контроль |
Система контроля и защиты вакуума, встроенный сигнал вакуумметра, управление молекулярным насосом, защита источника испарения, защита от выпечки и другие функции |
|
Программное обеспечение для контроля температуры, включая источник испарения и держатель образца |
|
|
Модуль для выпечки горячим воздухом, равномерная температура выпечки, легко разбирается и монтируется |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Сфера-300 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support