Disco DFG 8540 Grinders


0 USD
Disco DFG 8540 — это высокоточный шлифовальный станок для обработки кремниевых пластин и других полупроводниковых материалов, предназначенный для операций грубого и тонкого шлифования (tape grinding / backgrinding)

Основные технические характеристики Disco DFG 8540

Параметр

Значение

Модель

DFG 8540

Тип

Станок для шлифования пластин (грубое/тонкое шлифование)

Диаметр обрабатываемых пластин

150–200 мм (6–8 дюймов)

Максимальная толщина пластины

До 1 мм (стандартно)

Минимальная толщина после шлифования

Примерно 30–50 мкм (в зависимости от типа пластины и процесса)

Тип шлифовального круга

Алмазные шлифовальные круги (грубый и тонкий)

Количество шпинделей

2 (один для грубого шлифования, другой для тонкого)

Скорость вращения шпинделя

До 6000 об/мин

Скорость подачи

Регулируемая, до нескольких мм/с

Тип стола

Вакуумный стол с возможностью вращения (до 500 об/мин)

Система промывки

Встроенная система подачи деионизированной воды (DIW) для удаления шлама и охлаждения

Система контроля толщины

Лазерный или датчик контактного типа (опционально)

Управление

Промышленный ПК с сенсорным экраном, программное управление процессом

Производительность

До 30–50 пластин/час (зависит от параметров шлифования)

Размеры (Ш × Г × В)

Примерно 1300 × 1000 × 1800 мм

Масса

Примерно 1500–1800 кг

Напряжение питания

200–480 В, 3 фазы, 50/60 Гц

Потребляемая мощность

Примерно 5–7 кВт (в зависимости от конфигурации)

 

Ключевые особенности                                                             

  • Вакуумный стол с вращением

Пластина фиксируется на вакуумном столе, который вращается во время обработки, обеспечивая равномерное шлифование по всей поверхности.

  • Система автоматического контроля толщины
  • Система охлаждения и очистки

В процессе шлифования используется деионизированная вода для охлаждения пластины и шлифовального круга, а также для удаления образ

 

Производство: Япония
Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support