Фоторезисты серии MEGAPOSIT SPR700 — это позитивные многоволновые фоторезисты, оптимизированные для обеспечения широких технологических диапазонов и высокой производительности с отличной термической стабильностью. Резисты SPR700 совместимы с широким спектром семейств проявителей. Эта универсальность делает фоторезисты SPR700 идеальными для ряда приложений, особенно для литографии с использованием различных материалов. Как и все фоторезисты Rohm and Haas Electronic Materials i-Line, SPR700 разработан с использованием более безопасных альтернатив растворителям.
ПРЕИМУЩЕСТВА
- Многоволновое излучение (i-линия, g-линия и широкополосное)
- Совместимость с широким спектром семейств проявителей (0,26N, 0,24N и 0,21N)
- Превосходные технологические возможности и надежный процесс
- Высокая производительность для степперных и проявочных процессов:
- Es 110 мДж/см² для 60 SSP (0,500 мкм L/S)
- Es 125 мДж/см² для 40 SSP (0,500 мкм L/S)
- Термическая стабильность ≥ 135°C
- Отличная глубина резкости: 1,80 мкм для 0,500 мкм L/S ≥1,20 мкм для 0,400 мкм L/S
Таблица 2. Литографическая эффективность
|
Свойство |
Энергия определения размера, Es (мДж/см2) |
Линейность маскирования при Es (мкм) |
Разрешение при Es (мкм) |
Широта экспонирования (%) |
Широта фокусировки (мкм) |
Фотоскорость, E0 (мДж/см2) |
Соотношение Es/E0 |
|
i-линия (0,55 NA, 0,54) |
|||||||
|
40 SSP, 0,50 мкм, линии/пробелы |
125 |
0,350 |
0,325 |
41,1 |
1,80 |
— |
— |
|
40 SSP, 0,40 мкм, линии/пробелы |
125 |
— |
— |
31,4 |
≥ 1,20 |
— |
— |
|
60 SSP, 0,50 мкм, линии/пробелы |
110 |
0,350 |
0,350 |
40,5 |
1,65 |
— |
— |
|
60 SSP, 0,40 мкм, линии/пробелы |
110 |
— |
— |
31,5 |
≥1,20 |
— |
— |
|
40 SSP, 0,50 мкм CH |
156 |
— |
— |
≥ 38,5 |
1,70 |
— |
— |
|
40 SSP, 0,40 мкм CH |
239 |
— |
— |
≥25,1 |
1,10 |
— |
— |
|
g-линия (0,42 NA) |
|||||||
|
60 SSP, 0,70 мкм, линии/пробелы |
215 |
0,550 |
0,550 |
≥ 39,7 |
≥ 2,80 |
119 |
1,80 |
|
60 SSP, 0,60 мкм, линии/пробелы |
215 |
— |
— |
15,1 |
≥ 2,80 |
119 |
1,80 |
|
Рисунок 2. Кривая интерференции i-линии |
Рисунок 4. Кривая скорости центрифугирования |
|
|
|
|
Рисунок 3. Кривая интерференции g-линии |
Рисунок 5. Кривая светопоглощения |
|
|
|
Таблица 3. Параметры Дилла
|
|
365 нм |
405 нм |
436 нм |
|
Коэффициент Дилла A |
0,918 мкм-1 |
1,073 мкм-1 |
0,538 мкм-1 |
|
Коэффициент Дилла B |
0,061 мкм-1 |
0,039 мкм-1 |
0,028 мкм-1 |
Таблица 4. Прибл. коэффициенты Коши — Prometrix SM300
Рисунок 6. Температурные характеристики задубливания (3 минуты, контактная горячая плита)
|
130 °C |
 |
|
135 °C |
|
|
140 °C |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SPR700 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support