CY-600-2HD - это компактная система магнетронного распыления с двумя 2-дюймовыми источниками мишеней. Источник постоянного тока для покрытия металлической пленкой и другой радиочастотный источник для покрытия неметаллическими материалами. Эта система нанесения покрытий предназначена для нанесения как одного, так и нескольких слоев пленки, таких как сплав, сегнетоэлектрик, полупроводник, керамика, диэлектрик, оптика, ПТФЭ и т.д.
Технические параметры
|
Входная мощность |
1.220 В переменного тока 50/60 Гц, однофазный |
|
Источник питания |
1. Два источника питания для распыления объединены в один блок управления |
|
2. Источник постоянного тока: 500 Вт для нанесения покрытий на металлические материалы |
|
|
3. Источник радиочастотного излучения: 600 Вт с автоматическим управлением для нанесения покрытий на неметаллические материалы (в центре) |
|
|
4. Источник радиочастотного излучения Compact 300 доступен за дополнительную плату |
|
|
Магнетронная распылительная головка |
1. В комплект поставки входят две 2-дюймовые магнетронные распылительные головки с рубашками водяного охлаждения |
|
2. Требуемый размер мишени: диаметр 2 дюйма |
|
|
3. Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм как для металлических, так и для непроводящих мишеней |
|
|
4. В комплект поставки входят одна мишень из нержавеющей стали и одна керамическая мишень из Al2O3 для демонстрационного тестирования |
|
|
5. Водяное охлаждение головки: требуется расход воды 10 мл/мин, а для охлаждения обеих головок магнетронно-плазменного напыления в комплект входит один охладитель рециркуляционной воды со скоростью 16 мл/мин с цифровым |
|
|
6. Устройство для нанесения покрытия по индивидуальному заказу: Две головки постоянного тока без радиочастотного распыления, радиочастотная головка без |
|
|
Вакуумная камера |
1. Вакуумная камера: диаметр 300 мм х высота 300 мм, изготовлена из нержавеющей стали |
|
2. Обзорное окно: диаметр 100 мм |
|
|
Держатель образца |
1. Размер держателя образца: диаметр 140 мм. Максимум 4 "пластины |
|
2. Скорость вращения держателя образца регулируется: 1-20 об / мин для равномерного нанесения покрытия |
|
|
3. Температура держателя регулируется от RT до 500 ° C Макс. с точностью +/- 1,0 °C |
|
|
Регулирование расхода газа |
1. Скорость потока: 200 мл/мин макс. |
|
2. Скорость потока регулируется на 6-дюймовой сенсорной панели управления |
|
|
Вакуумная насосная станция |
Высокая скорость турбо вакуумный насос система устанавливается непосредственно в вакуумную камеру |
|
Мощный двухступенчатый механический насос подсоединен к турбонасосу для увеличения |
|
|
Передвижная насосная станция входит в комплект поставки, и компактное устройство для напыления может быть установлено на |
|
|
Максимальный уровень вакуума: 10 ^-6 торр при камерном обжиге |
|
|
Контроль толщины |
В камеру встроен один прецизионный кварцевый датчик толщины для контроля толщины покрытия |
|
Светодиодный дисплей снаружи камеры может: |
|
|
Исходный материал для нанесения покрытия в соответствии с прилагаемой базой данных |
|
|
Отображение общей толщины покрытия и скорости нанесения |
|
|
В комплект входит 5 кварцевых датчиков (расходный материал) |
|
|
Требуется водяное охлаждение |
|
|
Габаритные размеры |
L6600mm × W660mm × H1200mm |
|
Примечание по применению |
Для удаления кислорода из камеры рекомендуется 2-3 раза добавлять в камеру 5% гидрогена + 95 % |
|
Для плазменного напыления используйте газообразный аргон чистотой > 5N. Несмотря на то, что Ar чистотой 5N обычно содержит 10-100 частей на миллион кислорода и H2O |
|
|
Вес нетто |
160 кг |
|
Гарантия |
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-600-2HD |
По запросу |
JoomShopping Download & Support