Высоковакуумная магнетронно-плазменная система распыления с двумя головками постоянного/радиочастотного тока с контролем толщины

Входная мощность

220 В переменного тока 50/60 Гц, однофазная
2000 Вт (включая насос)

Источник питания

Два источника питания для распыления объединены в один блок управления
Источник постоянного тока: 500 Вт для нанесения покрытий на металлические материалы
Источник RF: 600 Вт с автоматическим управлением для нанесения покрытий на неметаллические материалы (в центре)
Источник RF Compact 300 доступен за дополнительную плату

Магнетронная распылительная головка

В комплект входят две 2-дюймовые магнетронные распылительные головки с рубашками водяного охлаждения
Одна подключена к источнику радиочастотного питания для непроводящих материалов
Другая подключена к источнику постоянного тока для нанесения покрытий на металлические материалы
Требуемый размер мишени: диаметр 2 дюйма
Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм как для металлических, так и для непроводящих мишеней.
Для демонстрационного тестирования в комплект входят одна мишень из нержавеющей стали и одна керамическая мишень из Al2O3.
Водяное охлаждение головки: требуется расход воды 10 мл/мин, а также один охладитель рециркуляционной воды с цифровым управлением 16 мл/мин. входит в комплект для охлаждения обеих магнетронных распылительных головок
Устройство для нанесения покрытия по индивидуальному заказу: Две головки постоянного тока без, радиочастотное распыление, радиочастотная головка без постоянного распыления, 3 радиочастотные головки доступны по запросу

Вакуумная
камера

Вакуумная камера: диаметр 300 мм x высота 300 мм, изготовлена из нержавеющей стали
Смотровое окно: диаметр 100 мм
Откидная крышка сверху с пневматической пружиной sport облегчает замену мишеней

Держатель образца

Размер держателя образца: диаметр 140 мм. для. Максимум 4 "пластины
(также может быть спроектирована по вашему желанию)
Скорость вращения держателя образца регулируется: 1-20 об / мин для равномерного нанесения покрытия
Температура держателя регулируется от RT до 500 ° C Макс. с точностью +/- 1,0 ° C

Управление потоком газа

Установлены два прецизионных цифровых MFC (регулятора массового расхода), позволяющих заправлять два типа газов
Скорость потока: 200 мл/мин макс.
Скорость потока регулируется на 6-дюймовой сенсорной панели управления

Вакуумная насосная
Станция

Система высокоскоростного турбовакуумного насоса (сделано в Германии) устанавливается непосредственно в вакуумной камере макс. уровень вакуума
Сверхмощный двухступенчатый механический насос подсоединен к турбонасосу для увеличения скорости насоса
В комплект входит мобильная насосная станция, а сверху станции можно установить компактную машину для нанесения напыляющего покрытия
Максимальный уровень вакуума: 10 ^ -6 торр при камерном обжиге

Контроль толщины

В камеру встроен один прецизионный кварцевый датчик толщины покрытия с точностью 0,10 Å
Блок светодиодного дисплея снаружи камеры: в комплект поставки входят 5 кварцевых датчиков (расходных материалов)
Ввод материала для нанесения покрытия в соответствии с прилагаемой базой данных
Отображение общей толщины покрытия и скорости нанесения
Требуется водяное охлаждение

Габаритные
размеры

L1300mm × W660mm × H1200mm

Вес нетто

160 кг

Гарантия

Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой

Примечание по применению

Для удаления кислорода из камеры рекомендуется 2-3 раза добавлять в камеру 5% гидрогена + 95% азота, что может снизить содержание кислорода ниже 10 частей на миллион
Пожалуйста, используйте газообразный аргон чистоты > 5N для плазменного распыления. Несмотря на то, что Ar чистоты 5N, обычно содержит 10-100 частей на миллион кислорода и H2O

Модель

Стоимость, доллары США

CY-VTC-600-2HD

По запросу