Устройство для нанесения покрытий термическим испарением в сверхвысоком вакууме предназначено для нанесения покрытий на чувствительные к кислороду металлические материалы, такие как Ti, Al, Ir и т.д. Его также можно использовать для нанесения покрытий на все виды материалов. Он оснащен четырьмя источниками испарительного нагревателя и позволяет наносить покрытие на два типа материалов одновременно при высоком вакууме до 10-6 торр.
Технические характеристики
Устройство для термического испарения в сверхвысоком вакууме оснащено 4 испарительными нагревательными чашами, каждая из которых может самостоятельно наносить испарительное покрытие.Над нагревательной чашей установлена поворотная перегородка. Когда работает одна из нагревательных лодочек, перегородка закрывает три другие вольфрамовые лодочки, чтобы предотвратить загрязнение материалов для осаждения из паровой фазы.При частичном изменении конфигурации может быть реализовано испарительное покрытие из органического материала, которое может соответствовать исследовательским требованиям к светоизлучающему устройству и органической солнечной батарее, и это экспериментальное устройство с идеальным эффектом покрытия и высокой стоимостью.
Технические параметры
|
Входная и выходная мощность |
Вход: 208-240 В переменного тока, 20 А, 50/60 Гц, однофазный Требуемая общая мощность: 8 кВт (включая насос) другое 3-фазное напряжение предоставляется по запросу Мощность: не более 5 В переменного тока и не более 300 А. |
|
Вакуумная камера |
Камера из нержавеющей стали: диаметр 280 мм × высота 375 мм, (~ 23 литра) Поверхность для пескоструйной электролитической полировки смотровое окно диаметром 100 мм перед камерой Дверца на петлях для легкой загрузки образца Сверху каждой испарительной камеры установлены жалюзи с ручным управлением, которые позволяют выпаривать 4 вида материала один за другим В камере встроены 4 порта KF40 для подключения к необходимому устройству |
|
Вакуумный насос |
Высокоскоростной вакуумный насос с турбонаддувом входит в комплект поставки и подключается к вакуумной камере. Скорость вакуумирования: 600 л/с Уровень вакуума: 5,0x10-6 Торр (после 40 минут откачки) Предельный вакуум: 5,0x10-7 Торр (после выпекания при 100-150 °C) Скорость утечки: 5.0x10-7 Па. Вакуумное отверстие: диаметр 150 мм |
|
Источник испарения |
В комплект поставки входят четыре вольфрамовые нагревательные лодки, поддерживаемые электродами для охлаждения воды Нагревательная лодка из вольфрама имеет размеры 70 мм Д x 12 мм Ш x 3 мм Х. Запасная лодка W предоставляется за дополнительную плату.。 Каждая верхняя часть лодки оснащена заслонкой ручного управления Встроенная ручная заслонка позволяет использовать источник испарения без загрязнения Вращающийся держатель для образцов диаметром 100 мм установлен на верхней части камеры диаметром 260 мм, которая может нагреваться до 600 °C макс. с помощью цифрового регулятора температуры с точностью +/1 °C Расстояние между источником испарения и держателем образца регулируется на 150-300 мм |
|
Блок управления |
Регулирование вакуума, толщины и мощности интегрировано в один блок управления Блок управления отделен от вакуумной камеры для удобства перемещения Блок управления можно разместить на верхней части вакуумной станции |
|
Габаритные размеры |
L600mm × W860mm × H1500mm |
|
Вес нетто |
600 кг |
|
Требования к оборудованию для установки |
Площадь: 250 кв. м при высоте > 6 футов Мощность: 208-240 В переменного тока, однофазная, максимальная мощность 10 кВт (выключатель 50 А) Вода: для охлаждения электрода требуется расход воды > 15 л/мин. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Ultra-High vacuum thermal evaporation coater with four heating sources
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support