Органическое и неорганическое испарительное покрытие используется при выращивании тонкопленочных солнечных элементов, исследовании тонких пленок молекулярно-органических электролюминесцентных устройств ELOEL. Он может быть широко использован в производстве небольших партий и при научных исследованиях пленочных материалов университетами и научно-исследовательскими институтами.
Технические характеристики
Устройство для нанесения органических и неорганических испарительных покрытий имеет линейную конструкцию и в основном состоит из двух камер для выращивания органических материалов, которые соединены задвижками. Одна из двух камер для выращивания предназначена для стыкового соединения с перчаточным ящиком, что позволяет завершить передачу субстратов между двумя независимыми системами подготовки пленки. Камера для выращивания органических материалов в основном состоит из вакуумной камеры в сборе, источника органического испарения, испарительной лодки с термическим сопротивлением, устройства для переноса образцов, платформы для отбора проб, монитора толщины пленки, устройства освещения вакуумной камеры, устройства для выпечки и так далее.
Технические параметры
|
Вакуумная камера |
Две вакуумные камеры D-образной формы, размер: около 450 × H750; Две вакуумные камеры конфигурации вакуумной системы, экстремальное давление, время восстановления вакуума, испарительная лодка с термическим сопротивлением и источник питания, монитор толщины пленки, оборудование для освещения вакуумной камеры, оборудование для выпечки, конфигурация платформы для отбора проб, вышеуказанная конфигурация совпадает с техническими параметрами |
|
|
Конфигурация вакуумной системы |
Японский крионасос, безмасляный вихревой сухой насос и электромагнитный клапан, составной прибор для измерения вакуума с цифровым дисплеем, клапаны и т.д. |
|
|
Предельное давление |
≤2,0 ×10-5 Па |
|
|
время восстановления в вакууме |
Достигается давление 1 × 10-4 Па за 40 минут |
|
|
Устройство для переноса образцов с электромагнитной связью |
Вакуумная камера 1 |
Оно оснащено устройством подачи движения по линии магнитной муфты и приводится в действие шаговым двигателем. Оно оснащено дистанционным ручным блоком управления для прямого и обратного управления |
|
Источник и мощность органического испарения |
Вакуумная камера 1 |
9 новых моделей источников сублимационного испарения OEL, каждый из которых заполнен испаряющим материалом объемом 10 куб. см, температура в помещении-800 ℃: 7; температура в помещении-1000 ℃: 2; мощность источника испарения: 4 |
|
Вакуумная камера 2 |
6 новых моделей источников сублимационного испарения OEL, каждый из которых заполнен испаряющим материалом объемом 10 куб. см, температура в помещении-800 ℃: 6; температура в помещении-1000 ℃: 2; мощность источника испарения: 4 |
|
|
Термостойкая испарительная лодка и мощность |
Новая модель испарительной лодки: 2 (термостойкая испарительная лодка); цифровая мощность термостойкого испарения: 1, с функцией точной регулировки (0,1 А); специальная коробчатая испарительная лодка с алюминиевым покрытием: 2; металлическая испарительная лодка: 10; перегородка источника испарения: 2. |
|
|
Устройство для контроля толщины пленки |
Коэффициент разрешения по толщине |
Неравномерность: 0,0133Å/мера; среднее значение для 50 образцов: 0,002Å/мера |
|
Коэффициент разрешающей способности по скорости |
Неравномерность: 0,0133 ангстрема в секунду; среднее значение для 50 образцов: 0,02 ангстрема в секунду |
|
|
Точность |
0,03 Гц/ измерение, 2 ppm |
|
|
Скорость |
Измерение 10 раз в секунду |
|
|
Устройство для освещения вакуумной камеры |
Светодиодное освещение внешней камеры для предотвращения загрязнения освещения пленочным покрытием |
|
|
Устройство для выпечки |
Способ выпечки в вакуумной форме для выпечки на открытом воздухе |
|
|
Стадия отбора проб |
Размер образца |
Загрузите одну подложку размером 100 ×100 мм или 50 × 50 мм |
|
Способ движения |
Подъемный механизм с механическим приводом, поворотный, скорость вращения 0-30 об/мин, регулируемая скорость вращения |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Organic and inorganic evaporation coater |
По запросу |
JoomShopping Download & Support