Этот аппарат для нанесения покрытий магнетронным распылением предназначен для нанесения как одного, так и нескольких слоев пленки на широкий спектр материалов, таких как сплавы, сегнетоэлектрики, полупроводники, керамика, диэлектрики, оптические материалы, ПТФЭ и т.д. Его компактность и простота в эксплуатации делают его идеальной системой нанесения покрытий для использования в научно-исследовательских лабораториях.
Технические характеристики
CY-MSP300S-DC - компактное устройство для магнетронного напыления с одним источником мишени 2 ". Источник постоянного тока для нанесения покрытий на металлические материалы. В комплект поставки входит датчик толщины пленки, позволяющий пользователю легко контролировать обработку. Это устройство для магнетронного напыления предназначено для нанесения как одного, так и нескольких слоев пленки на широкий спектр материалов, таких как сплавы, сегнетоэлектрики, полупроводники, керамика, диэлектрик, оптический материал, ПТФЭ и т.д. Компактность и простота в эксплуатации делают его идеальной системой нанесения покрытий для использования в научно-исследовательских лабораториях.
Технические параметры
|
Входная мощность |
220 В переменного тока 50/60 Гц, однофазный 2000 Вт (включая насос) |
|
Источник питания |
Источник питания поставляется в комплекте с одним источником радиочастотного питания Источник постоянного тока: 500 Вт для нанесения покрытий на металлические материалы (слева внизу) |
|
Магнетронная распылительная головка |
В комплект входит одна 2 "магнетронная распылительная головка с рубашками водяного охлаждения для подключения дополнительного источника питания Напорное водяное охлаждение: требуется расход воды 10 мл /мин |
|
Вакуумная камера |
Вакуумная камера: диаметр 300 мм x высота 300 мм, изготовлена из кварца высокой чистоты |
|
Держатель образца |
Размер держателя образца: 185 мм Скорость вращения: регулируется от 1 до 20 об/мин Температура держателя регулируется от RT до 500℃ Максимум с точностью +/- 1,0℃ |
|
Вакуумная насосная станция |
1.Высокоскоростная система турбо вакуумный насос устанавливается непосредственно в вакуумную камеру на максимум. уровень вакуума 2. Сверхмощный двухступенчатый механический насос подсоединен к турбонасосу для увеличения скорости насоса 3. Передвижная насосная станция входит в комплект поставки, а компактный распылитель можно установить поверх станции 4. Максимальный уровень вакуума: 10 ^-6 торр при камерном обжиге |
|
Контроль толщины |
1. В камеру встроен один прецизионный кварцевый датчик толщины для контроля толщины покрытия с точностью 0,10 Å 2. Светодиодный дисплей вне камеры может: Исходный материал для нанесения покрытия в соответствии с базой данных включен в комплект поставки Отображение общей толщины покрытия и скорости нанесения В комплект входит 3,5 шт кварцевых датчиков (расходный материал) 4. Требуется водяное охлаждение |
|
Гарантия |
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP300S-DC |
По запросу |
JoomShopping Download & Support