Устройство для нанесения покрытий магнетронным напылением с тремя мишенями - это экономичное оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением, независимо разработанное нашей компанией. этот аппарат для нанесения покрытий магнетронным напылением стандартизирован, модулирован и настраивается индивидуально.
Технические характеристики
Трехцелевая магнетронная напыляющая машина - это экономичное оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением, независимо разработанное нашей компанией. эта магнетронная напыляющая машина является стандартизированной, модульной и настраиваемой.
Это устройство может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок из ПТФЭ и тому подобного. По сравнению с аналогичным оборудованием, эта трехцелевая магнетронная напыляющая машина не только широко используется, но также обладает преимуществами небольшого размера и простоты в эксплуатации и является идеальным оборудованием для подготовки пленок материалов в лаборатории.
Технические параметры
|
Напряжение питания |
Напряжение переменного тока 220, 60 Гц |
|
ИБП |
20 кВА 16 кВт, задержка 1 час 16 батарей емкостью 38 АЧ |
|
Вакуумная камера |
Размер: Диаметр 325 мм * Высота 385 мм Материал: нержавеющая сталь 304 Видовое окно: ~ 4 " (100 мм) с заслонкой |
|
Этап отбора проб |
Верхний держатель образца Таблица образцов: Диаметр 150 мм Размер образца: макс. Диаметр 4 дюйма Скорость вращения: 0-40 об/мин регулируется Температура нагрева: до 700 ℃ |
|
Охладитель воды |
Расход воды: 2,3 м3/ч Мощность: 3P Холодопроизводительность: 8250 Ккал/ч Выходная мощность компрессора: 2,25 кВт |
|
Магнетронный распылитель |
магнетронные распылители 3 × 2 " с автоматическим затвором Ориентация распыления вверх Диаметр мишени: 2 " Магниты: редкоземельный магнит |
|
Радиочастотный генератор |
Источник питания 3 × RF 300 Вт с автоматическим согласованием Диапазон выходной мощности: 5 Вт ~ 300 Вт Максимальная отраженная мощность: 100 Вт Стабильность мощности: ± 0,1% Гармоническая составляющая: ≤-50dbc Источник питания: однофазный 187-253 В переменного тока, 50/60 Гц КПД: ≥70% Коэффициент мощности: ≥90% Отраженная мощность (при максимальной мощности): <3 Вт Максимальный ток нагрузки: 30 АЧ Максимальное напряжение нагрузки: 7500VRMS Радиочастотный выходной разъем: 50 Ом, L29 или по индивидуальному заказу Время согласования: 1 ~ 3 секунды Реальный диапазон согласованного импеданса: 0 ~ 80 ОМ Диапазон мнимой части согласованного импеданса:﹣200 дж ~﹢200 дж Способ охлаждения: принудительное охлаждение |
|
Массовый расходомер |
3 × Регулирование массового расхода MFC (Ar, O2 и N2) Диапазон измерений: до 20 см С пневматическим запорным клапаном (ами) и фильтром. |
|
Полностью автоматическое управление с помощью ПК или ПЛК для управления |
В магазине можно приобрести минимум 100 рецептур 19 "Плоский контроллер |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Three sputter sources magnetron sputtering coater with UPS |
По запросу |
JoomShopping Download & Support