Это оборудование представляет собой двухцелевую машину для нанесения покрытий магнетронным напылением, которая может использоваться для получения металлических пленок, в области электроники, оптики, специальной керамики и т.д. он также может быть использован для подготовки образцов СЭМ в лаборатории.
Технические характеристики
Данное оборудование представляет собой двухцелевую машину для нанесения магнетронных напылительных покрытий, которая может использоваться при получении металлических пленок, в областях электроники, оптики, специальной керамики и т.д. Это двойная мишень магнетронная напылительная машина также может использоваться для подготовки образцов SEM в лаборатории.
Он оснащен высоковакуумной камерой из нержавеющей стали, конструкцией открывания передней двери и кварцевым смотровым окошком на двери, что удобно для наблюдения и записи эксперимента. В то же время оборудование оснащено поворотным нагревательным столом для отбора проб, который может эффективно улучшить однородность пленки и ее качество. На верхней крышке установлен набор перегородок, и две мишени можно переключать, вращая перегородку, чтобы получить многослойное покрытие.
Это оборудование необходимо использовать вместе с группой высоковакуумных молекулярных насосов. Пользователи могут выбрать импортный брендовый небольшой молекулярный насос для дополнительной экономии места установки.
В то же время модель может быть оснащена компонентами для измерения толщины пленки, которые могут контролировать толщину пленки в режиме реального времени и обеспечивать надежные параметры для экспериментального процесса.
Технические параметры
|
Этап отбора проб |
Размер |
100 мм |
Нагрев |
≤500℃ |
|
Скорость вращения |
1-20р /мин |
Контроль температуры |
±1℃ |
|
|
Магнетронная напыляющая головка |
Количество |
2 ”x2 |
Режим охлаждения |
Водяное охлаждение |
|
Вакуумная камера |
Размер |
Диаметр 210 мм × 260 мм |
Окно для часов |
φ40 мм |
|
Материал |
SUS |
Открытый режим |
Переднее отверстие |
|
|
Источник питания для распыления |
Источник питания постоянного тока |
1 комплект |
Выходная мощность |
≤300 Вт |
|
Выходное напряжение |
≤600 В |
время отклика |
<5 мс |
|
|
Водяное охлаждение |
Емкость бака |
9L |
Поток |
10 л / мин |
|
Датчик толщины пленки |
Точность |
0,1 ангстрема |
Режим охлаждения |
Водяное охлаждение |
|
Другое |
Источник питания |
220 В переменного тока, 50 Гц |
Общая мощность |
4 кВт |
|
Молекулярная насосная система |
Вспомогательный насос |
Роторно-лопастной насос |
Перекачка |
1.1Л /с |
|
Вторичный насос |
турбомолекулярный насос (бытовой) |
Перекачка |
600Л/с |
|
|
Интерфейс извлечения |
KF40 |
Выход воздуха |
KF16 |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Desktop double head magnetron sputtering coating machine |
По запросу |
JoomShopping Download & Support