Настольная двухголовочная машина для нанесения покрытия магнетронным напылением


Производитель: CY Scientific Instrument, Китай

0 USD

Это оборудование представляет собой двухцелевую машину для нанесения покрытий магнетронным напылением, которая может использоваться для получения металлических пленок, в области электроники, оптики, специальной керамики и т.д. он также может быть использован для подготовки образцов СЭМ в лаборатории.

Технические характеристики

Данное оборудование представляет собой двухцелевую машину для нанесения магнетронных напылительных покрытий, которая может использоваться при получении металлических пленок, в областях электроники, оптики, специальной керамики и т.д. Это двойная мишень магнетронная напылительная машина также может использоваться для подготовки образцов SEM в лаборатории.

Он оснащен высоковакуумной камерой из нержавеющей стали, конструкцией открывания передней двери и кварцевым смотровым окошком на двери, что удобно для наблюдения и записи эксперимента. В то же время оборудование оснащено поворотным нагревательным столом для отбора проб, который может эффективно улучшить однородность пленки и ее качество. На верхней крышке установлен набор перегородок, и две мишени можно переключать, вращая перегородку, чтобы получить многослойное покрытие.

Это оборудование необходимо использовать вместе с группой высоковакуумных молекулярных насосов. Пользователи могут выбрать импортный брендовый небольшой молекулярный насос для дополнительной экономии места установки.

В то же время модель может быть оснащена компонентами для измерения толщины пленки, которые могут контролировать толщину пленки в режиме реального времени и обеспечивать надежные параметры для экспериментального процесса.

Технические параметры

Этап отбора проб

Размер

100 мм

Нагрев

≤500℃

Скорость вращения

1-20р /мин

Контроль температуры

±1℃

Магнетронная напыляющая головка

Количество

2 ”x2

Режим охлаждения

Водяное охлаждение

Вакуумная камера

Размер

Диаметр 210 мм × 260 мм

Окно для часов

φ40 мм

Материал

SUS

Открытый режим

Переднее отверстие

Источник питания для распыления

Источник питания постоянного тока

1 комплект

Выходная мощность

≤300 Вт

Выходное напряжение

≤600 В

время отклика

<5 мс

Водяное охлаждение

Емкость бака

9L

Поток

10 л / мин

Датчик толщины пленки

Точность

0,1 ангстрема

Режим охлаждения

Водяное охлаждение

Другое

Источник питания

220 В переменного тока, 50 Гц

Общая мощность

4 кВт

Молекулярная насосная система

Вспомогательный насос

Роторно-лопастной насос

Перекачка

1.1Л /с

Вторичный насос

турбомолекулярный насос (бытовой)

Перекачка

600Л/с

Интерфейс извлечения

KF40

Выход воздуха

KF16

 

Модель

Стоимость, доллары США

Desktop double head magnetron sputtering coating machine

По запросу

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support