Это оборудование представляет собой устройство для нанесения покрытия магнетронным распылением с одной мишенью, оно может быть использовано при получении металлической пленки, а также в электронных областях, оптических областях, специальной области получения керамики, оно, безусловно, может быть использовано при подготовке образцов СЭМ в лаборатории.
Технические характеристики
Данное оборудование представляет собой машину для одноцелевого магнетронного распыления, его можно использовать при получении металлической пленки, а также использовать в электронных областях, оптических областях, специальной области получения керамики, оно, безусловно, может быть использовано при подготовке образцов SEM в лаборатории.。
Настройка структуры магнетронной напыляющей машины
Этот набор представляет собой одноцелевой магнетронный распылитель, оснащенный высоковакуумной полостью из нержавеющей стали, полость оснащена кварцевым смотровым окошком, за которым легко наблюдать и записывать эксперимент; Конструкция полости с отличными вакуумными характеристиками и небольшой формой делает ее очень подходящей для лабораторного использования. В то же время оборудование оснащено вращающимся нагревательным столом для отбора проб, который может эффективно улучшить однородность пленки и ее качество. Машина имеет модульную конструкцию, простую логику работы и интуитивно понятный интерфейс управления, что облегчает начало работы.
Технический параметр одноцелевого магнетронного распылителя
|
Название продукта |
Настольный одноцелевой магнетронный распылитель с полостью из нержавеющей стали |
|
Модель продукта |
CY-MSP190S-1T-A |
|
Условия установки |
1,Рабочая температура окружающей среды: 25℃±15℃,влажность: 55%отн. ВЛ.±10%относительной влажности； 2, Источник питания оборудования:220В, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3, Номинальная мощность:1000 Вт; 4, Оборудование для газа：Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%. 5, Требования к размерам стола: 600 мм × 600 мм × 700 мм, грузоподъемность ≥ 50 кг; 6. Помещение должно хорошо проветриваться и охлаждаться. |
|
Технические показатели |
1、 Источник питания для напыления:Источник питания постоянного тока 300 Вт;максимальное выходное напряжение 600 В, ограниченный выходной ток 500 мА 2、 Магнетронная мишень:2-дюймовая балансировочная мишень, перегородка с магнитным соединением; 3、 Подходящий материал мишени： толщиной 50 мм x 3 мм 4、 Размер наружный диаметр 194, внутренний диаметр 186мм х высота 230 мм 5、 Материал нержавеющая сталь 304-го калибра 6、 Вращающийся нагревательный стол для образцов：скорость вращения 1 ~ 20 об /мин регулируется плавно;максимальная температура нагрева 500℃, минимальная рекомендуемая скорость нагрева 10℃/ мин, максимальная рекомендуемая скорость нагрева 20℃/мин. 7、 Режим для магнитной мишени и молекулярного насоса требуется охладитель циркулирующей воды, работающий в режиме циркуляции 8 Машина для водяного охлаждения：объем бака 9 л, скорость потока 10 л /мин 9、 Система подачи газа：массовый расходомер, тип газа аргон, расход 1 ~ 30 куб. см(настраиваемый) 10, Точность расходомера : Диапазон измерения ±1,5%. 11、 Интерфейс нагнетания воздуха в вакуумной камере KF25 12, Интерфейс воздухозаборника представляет собой соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 13、 Сенсорный экран-цветной сенсорный экран 7 дюймов 14、 Можно установить регулируемый ток распыления, значение безопасного тока распыления и значение безопасного вакуума; 15、 защита от перегрузки по току при слишком низком вакууме автоматически отключает ток распыления 16、 Максимальный вакуум：5E-4Pa (соответствующий молекулярный насос); 17、 Измерение вакуума производится вакуумметром Parana, диапазон составляет 1~105 па |
|
УВЕДОМЛЕНИЕ |
1. При магнетронном распылении создается высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2Па, и его необходимо использовать с молекулярным насосом. 2. Для достижения высокого уровня бескислородной среды вакуумную камеру следует очистить не менее 3 раз инертным газом высокой чистоты. 3. Магнетронное распыление чувствительно к забору воздуха, поэтому для контроля забора воздуха необходим массовый расходомер |
|
Дополнительный аксессуар |
|
|
Пленка Контроль толщины |
1, Разрешение по толщине пленки:0,0136Å(алюминий) 2, Точность определения толщины пленки ： ± 0,5%, зависит от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности 3, Скорость измерения:100 мс-1 с /раз, диапазон измерения можно установить :500000(алюминий) 4, Стандартный сенсорный кристалл：6 МГц 5, подходит для частоты пластин:6 МГц подходит для размеров пластин：Φ14 мм монтажный фланец：CF35 |
|
Еще один аксессуар |
1, комплект высокоэффективных молекулярных насосов серии CY-CZK103 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 105 па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60(включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 102 па) Двухполярный роторно-лопастной вакуумный насос VRD-4 2 вакуумных сильфона KF25; Длина может составлять 0,5 м, 1 м или 1,5 м. Зажимной кронштейн KF40 3, Кварцевый генератор для измерения толщины пленки; |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP190S-1T-A |
По запросу |
JoomShopping Download & Support