Настольный аппарат для нанесения магнетронного напыления с нижней мишенью - это настольный аппарат для нанесения магнетронного напыления с одной мишенью, он может использоваться при получении металлической пленки, а также в электронных областях, оптических областях, специальной области получения керамики, его, безусловно, можно использовать при подготовке образцов СЭМ в лаборатории.
Технические характеристики
Настольная машина для нанесения магнетронного напыления с нижней мишенью - это настольная машина с одной мишенью машина для нанесения магнетронного напыления, ее можно использовать при получении металлической пленки, а также использовать в электронных областях, оптических областях, специальной области подготовки керамики, ее, безусловно, можно использовать при подготовке образцов SEM в лаборатории.
Настройка структуры машины для нанесения магнетронного напыления
Эта машина для магнетронного напыления оснащена высоковакуумной полостью из нержавеющей стали, полость оснащена кварцевым окошком для наблюдения, которое легко наблюдать и записывать эксперимент; Конструкция полости с отличными вакуумными характеристиками и небольшой формой делает ее очень подходящей для лабораторного использования.
Оборудование имеет конструкцию с нижней мишенью по сравнению с верхней мишенью, такая конструкция позволяет лучше избежать проблемы отваливания фрагментов пленки из-за длительного нанесения защитного покрытия и может более эффективно защитить образец.
В то же время оборудование оснащено вращающимся нагревательным столом для образцов, который может эффективно улучшить однородность пленки и качество пленки. Машина имеет модульную конструкцию, простую логику работы и интуитивно понятный интерфейс управления, что облегчает начало работы.
Технические параметры машины для нанесения магнетронного напыления
|
Название продукта |
Настольная машина для нанесения напыления с нижней мишенью с полостью из нержавеющей стали |
|
Модель продукта |
CY-MSP190S-1T-UD (под) |
|
Условия установки |
℃1, температура рабочей среды: 25,влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной； 2, Источник питания оборудования:220В, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен； 3, Номинальная мощность:1000 Вт； 4, Оборудование для газа：Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%. 5, Требования к размеру стола: 600 мм × 600 мм × 700 мм,несущая способность ≥ 50 кг； 6. Помещение должно хорошо проветриваться и охлаждаться. |
|
Технические показатели |
1, Источник питания для напыления: источник питания постоянного тока 300 Вт; максимальное выходное напряжение 600 В, ограниченный выходной ток 500 мА 2, Магнетронная мишень：2-дюймовая балансировочная мишень, перегородка с магнитной муфтой; 3、 Подходящий материал мишени: толщина 50 мм x 3 мм 4、 Размер полости : наружный диаметр194, внутренний диаметр186мм х высота 230 мм 5、 Материал полости: нержавеющая сталь 304 6、 Вращающийся нагревательный стол для образцов：скорость вращения 1 ~ 20 об / мин регулируется плавно; максимальная температура нагрева 500℃,самая низкая рекомендуемая скорость нагрева 10℃/мин, самая высокая рекомендуемая скорость нагрева 20℃/мин. 7、 Режим охлаждения : для магнитной мишени и молекулярного насоса требуется охладитель циркулирующей воды 8, Машина для водяного охлаждения：объем бака 9л,скорость потока 10Л /мин 9, Система подачи газа：массовый расходомер, тип газа Аргон,расход 1 ~ 30 см(настраиваемый) 10, Точность расходомера : диапазон измерения ±1,5%. 11、 Интерфейс нагнетания воздуха в вакуумной камере KF25 12, Интерфейс воздухозаборника представляет собой соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 13, Сенсорный экран -7-дюймовый цветной сенсорный экран 14, Регулируемый ток распыления, можно установить значение безопасного тока распыления и значение безопасного вакуума; 15、 защита от перегрузки по току, слишком низкий вакуум автоматически отключают ток распыления 16、 Максимальный вакуум：5E-4Pa (соответствующий молекулярный насос); 17、 Измерение вакуума производится вакуумметром Parana, диапазон составляет:1~105 па |
|
УВЕДОМЛЕНИЕ |
1. При магнетронном напылении создается высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2 па, и его необходимо использовать с молекулярным насосом. 2. Для достижения высокого уровня бескислородной среды вакуумную камеру следует очистить не менее 3 раз инертным газом высокой чистоты. 3. Магнетронное распыление чувствительно к забору воздуха, поэтому для контроля забора воздуха необходим массовый расходомер |
|
Дополнительный аксессуар |
|
|
Пленка Контроль толщины |
1, Разрешение по толщине пленки:0,0136Å(алюминий) 2, Точность определения толщины пленки :± 0,5%,это зависит от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности 3, Скорость измерения:100 мс-1 с/раз, можно установить диапазон измерений:500000(алюминий, в том числе из Нержавеющей стали)......................... 4, Стандартный сенсорный кристалл：6 МГц 5, подходит для частоты пластин:6 МГц подходит для размера пластины:Φ14 мм монтажный фланец:CF35 |
|
Еще один аксессуар |
1, комплект высокоэффективных молекулярных насосов серии CY-CZK103 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 105 па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60(включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 102 па) двухполярный роторно-лопастной вакуумный насос VRD-4 2 вакуумных сильфона KF25; Длина может составлять 0,5 м, 1 м или 1,5 м. Зажимной кронштейн KF40 3, кварцевый генератор для измерения толщины пленки; |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP190S-1T-UD |
По запросу |
JoomShopping Download & Support