Устройство для нанесения магнетронного напыления постоянного тока с двумя мишенями

Двухцелевой аппарат для магнетронного распыления постоянным током может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и тому подобного. По сравнению с аналогичным оборудованием установка для нанесения покрытий магнетронным напылением с двумя мишенями не только широко используется, но и обладает преимуществами небольшого размера и простоты в эксплуатации и является идеальным оборудованием для приготовления пленок материалов в лаборатории.

Технические характеристики

Двухцелевая установка для нанесения магнетронного напыления постоянного тока - это экономичное оборудование для нанесения магнетронного напыления покрытий, независимо разработанное нашей компанией. Оно стандартизировано, модульно и настраивается. На ваш выбор предлагаются 1-дюймовые или 2-дюймовые магнетронные мишени. Клиенты могут выбрать мишень в зависимости от размера покрываемой подложки. Устройство оснащено двумя источниками питания постоянного тока мощностью 500 Вт. Для получения металлической пленки можно использовать источник питания постоянного тока. Две мишени могут отвечать требованиям многослойного или многократного нанесения покрытий.

Машина для нанесения покрытия оснащена двухканальным высокоточным массовым расходомером. При наличии других требований вы можете настроить газовый тракт вплоть до четырехканальных массовых расходомеров в соответствии со сложными требованиями к конструкции газовой среды. Прибор оснащен усовершенствованными турбомолекулярными насосами, максимальный вакуум составляет до 1,0 E-5Pa, также можно приобрести другие типы молекулярных насосов. Газовый тракт молекулярного насоса контролируется несколькими электромагнитными клапанами, вы можете открыть камеру для отбора пробы, не выключая насос, что значительно повышает эффективность вашей работы. Данное изделие может быть оснащено встроенным промышленным компьютером для управления системой. В компьютерной программе могут быть реализованы большинство функций, таких как управление вакуумным насосом и регулировка мощности распыления, что может еще больше повысить эффективность ваших экспериментов.

Применение двухцелевого магнетронного напыляющего покрытия постоянного тока

Данное устройство может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и т.п. По сравнению с аналогичным оборудованием устройство для нанесения магнетронного напыления с двумя мишенями не только широко используется, но и обладает преимуществами небольшого размера и простоты в эксплуатации и является идеальным оборудованием для подготовки пленок материалов в лаборатории.

Технические параметры устройства для нанесения магнетронного напыления постоянного тока с двумя целями