Компактная настольная машина для нанесения магнетронного напыления с 3 головками

Входная мощность
   

· Однофазный 110 В переменного тока, 50/60 Гц
· 1000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды)

Головка для магнетронного распыления
   

· В комплект входят три 2-дюймовые магнетронные распылительные головки с рубашками водяного охлаждения, которые вставляются в кварцевую камеру с помощью быстрых зажимов
· Замену радиочастотного кабеля можно приобрести в CYKY
· На фланце встроен один затвор с ручным управлением
· Для охлаждения распылительных головок в комплект входит один охладитель рециркуляционной воды с цифровым управлением 10 л/мин

Мишень для распыления

· Требуемый размер мишени: диаметр 2 дюйма x максимальная толщина 1/8 дюйма
· Диапазон расстояний распыления: регулируется на 50-80 мм
· Диапазон углов распыления: регулируется на 0-25 °
· Мишени Cu диаметром 2 дюйма и мишени Al2O3 входят в комплект для демонстрационного тестирования
· Различные мишени для распыления оксида 2 дюйма предоставляются по запросу за дополнительную плату
· Для приклеивания мишени в комплект входят медные опорные пластины толщиной 1 мм и 2 мм.

Вакуумная камера

· Вакуумная камера: диаметр 300 мм x высота 500 мм, изготовлена из нержавеющей стали
· Уплотнительный фланец: диаметр 274 мм, изготовлен из алюминия с уплотнительным кольцом из высокотемпературного силикона
· Защитный кожух из нержавеющей стали входит в комплект поставки для 100% экранирования радиочастотного излучения из камеры
· Максимальный уровень вакуума: 1,0 E-5 Торр с дополнительным турбонасосом и камерой для запекания

Держатель образца

· Держатель образца представляет собой вращающуюся и нагреваемую ступень, изготовленную из керамического нагревателя с крышкой из нержавеющей стали
· Размер держателя образца: диаметр 50 мм. для. Максимум 2 "пластины
· Скорость вращения: регулируется от 1 до 10 об /мин для равномерного нанесения покрытия
· Температура держателя регулируется от RT до 600 ° C max (максимум 5 минут при 600 ° C; максимум 2 часа при 500 °C) с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового регулятора температуры

Вакуумный насос

· Вакуумный порт KF40 встроен для подключения к вакуумному насосу.
· Уровень вакуума: 1,0E-2 Торр с входящим в комплект двухступенчатым механическим насосом
1,0E-3 Торр с дополнительным турбонасосом

Размер

540 мм Д x 540 мм Ш x 1000 мм В

Вес упаковки

Около 145 кг

Гарантия

Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой

Следует ли поддерживать кастомизацию

ДА

Модель

Стоимость, доллары США

3 Heads Compact desktop magnetron sputtering coater

По запросу