Это устройство может быть использовано для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и тому подобного. По сравнению с аналогичным оборудованием устройство для нанесения покрытий магнетронным напылением с двумя мишенями не только широко используется, но и обладает преимуществами небольшого размера и простоты в эксплуатации и является идеальным оборудованием для приготовления пленок материалов в лаборатории.
Технические характеристики
Устройство для нанесения магнетронного напыления с двумя целями - это экономичное оборудование для нанесения магнетронного напыления покрытий, независимо разработанное нашей компанией. Оно стандартизировано, модульно и настраивается. На ваш выбор предлагаются 1-дюймовые или 2-дюймовые магнетронные мишени. Клиенты могут выбрать мишень в зависимости от размера покрываемой подложки. Устройство оснащено двумя источниками питания постоянного тока мощностью 500 Вт. Для получения металлической пленки можно использовать источник питания постоянного тока. Две мишени могут отвечать требованиям многослойного или многократного нанесения покрытий.
Машина для нанесения покрытия оснащена двухканальным высокоточным массовым расходомером. При наличии других требований вы можете настроить газовый тракт вплоть до четырехканальных массовых расходомеров в соответствии со сложными требованиями к конструкции газовой среды. Прибор оснащен усовершенствованными турбомолекулярными насосами, максимальный вакуум составляет до 1,0 E-5Pa, также можно приобрести другие типы молекулярных насосов. Газовый тракт молекулярного насоса контролируется несколькими электромагнитными клапанами, вы можете открыть камеру для отбора пробы, не выключая насос, что значительно повышает эффективность вашей работы. Данное изделие может быть оснащено встроенным промышленным компьютером для управления системой. В компьютерной программе могут быть реализованы большинство функций, таких как управление вакуумным насосом и регулировка мощности распыления, что может еще больше повысить эффективность ваших экспериментов.
Применение двухцелевого магнетронного напыляющего покрытия
Данное устройство может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и т.п. По сравнению с аналогичным оборудованием устройство для нанесения магнетронного напыления с двумя мишенями не только широко используется, но и обладает преимуществами небольшого размера и простоты в эксплуатации и является идеальным оборудованием для подготовки пленок материалов в лаборатории.
Технические параметры устройства для нанесения магнетронного напыления с двумя мишенями
|
название продукта |
Устройство для нанесения магнетронного напыления с двумя мишенями |
|
Источник питания для распыления |
источник питания × 2 источника питания： 500 Вт |
|
Вакуумная камера |
Размер камеры: φ300 мм × 300 мм, Материал камеры: нержавеющая сталь Окно для часов： φ100 мм Метод открытия полости использует верхнее отверстие, что облегчает замену мишени |
|
Головка мишени для магнетронного распыления |
В приборе установлены 2 головки для магнетронного распыления, и все они оснащены промежуточным слоем с водяным охлаждением, через который может проходить охлаждающая вода для охлаждения материала мишени. Две распылительные головки подключены к источнику питания постоянного тока, а основная распыляющая проводящая |
|
Стадия отбора проб |
Размер держателя для образца: диаметр 140 мм. (Можно разместить максимум 4 "подложку) Держатель для образца можно вращать со скоростью: 1-20 об/мин (регулируется) Максимальная температура нагрева носителя образца составляет 500 ℃, а точность регулирования температуры составляет +/- 1,0 °C |
|
Регулятор расхода газа |
Внутри прибора установлены 2 массовых расходомера, диапазон измерения составляет: 0-200 куб. см |
|
Вакуумный насос |
Оснащено комплектом молекулярной насосной системы, использующей управление одной кнопкой со скоростью 80Л/С |
|
Система охлаждения |
16Л/мин. |
|
Напряжение |
220 В 50 Гц |
Видео с двухцелевым магнетронным напылением покрытия
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Dual-target magnetron sputtering coater
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support