Прибор для нанесения магнетронного напыления покрытий с тремя целями - это экономичное оборудование для нанесения магнетронного напыления покрытий, независимо разработанное нашей компанией, которое обладает характеристиками стандартизации, модульности и индивидуализации. Оборудование может использоваться для получения однослойных или многослойных.
Технические характеристики
Прибор для нанесения магнетронного напыления покрытий с тремя целями - это экономичное оборудование для нанесения магнетронного напыления покрытий, независимо разработанное нашей компанией, которое обладает характеристиками стандартизации, модульности и индивидуализации. Оборудование может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок из политетрафторэтилена и т.д. Источник питания постоянного тока может использоваться для получения металлических пленок, источник радиочастотного питания может использоваться для получения неметаллических пленок, а три мишени могут удовлетворять требованиям многослойного или многократного нанесения покрытия. По сравнению с аналогичным оборудованием прибор для магнетронного напыления покрытий с тремя мишенями не только широко используется, но и обладает преимуществами небольшого объема и простоты в эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки пленок материалов в лаборатории.
Технические параметры покрытия для магнетронного распыления
|
Машина для нанесения магнетронного напыления покрытий с тремя мишенями (источник питания постоянного тока + радиочастотный источник питания) |
||
|
Таблица образцов |
Режим распыления |
Ориентация распыления вверх, площадка для отбора проб расположена над мишенью для распыления; Держатель образца для установки по центру сверху, с одной заслонкой |
|
Держатель образца |
φ150 мм |
|
|
Точность контроля |
±1℃ |
|
|
Диапазон нагрева |
Комнатная температура~500℃ |
|
|
Регулируемая скорость |
регулируется от 1 до 20 об/мин |
|
|
Регулируемое расстояние до основания мишени |
Расстояние между мишенью и подложкой можно регулировать электрически |
|
|
Магнетронный пистолет-мишень |
Плоскость мишени |
Круглая плоская мишень |
|
Вакуум для распыления |
10Па~0,2 Па |
|
|
Диаметр мишени |
50~50,8 мм |
|
|
Толщина мишени |
2~5 мм Примечание: если целью является магнитный материал (например, Fe, Co, Ni), толщина покрытия не может превышать 1,5 мм, и требуется мощный магнитный распылитель, который потребуется дополнительно зарядить. |
|
|
Напряжение изоляции |
>2000 В |
|
|
Количество |
2 дюйма * 3;с затворами для каждого пистолета |
|
|
Спецификация кабеля |
SL-16 |
|
|
Заданная температура головки |
≦65℃ |
|
|
Вакуумная камера |
Обработка внутренних стенок |
Электролитическая полировка |
|
Размер камеры |
φ300mm × 350mm |
|
|
Материал камеры |
нержавеющая сталь 304 |
|
|
Обзорное окно |
Кварцевое окно диаметром φ100 мм с заслонкой |
|
|
Способ герметизации |
Уплотнение Viton |
|
|
Открытый способ |
Верхнее отверстие, вспомогательная опора цилиндра |
|
|
Система газорегулирования |
Управление потоком |
Трехходовой массовый расходомер: Кислород: диапазон 0~100 см Газообразный аргон: диапазон 0~200 см Азот: диапазон 0~500 см (Примечание: Для достижения более высокого уровня бескислородной среды вакуумную камеру необходимо очищать инертным газом высокой чистоты не менее 3 раз.) |
|
Тип газа |
Аргон, азот, кислород и другие инертные газы |
|
|
Тип регулирующего клапана |
Электромагнитный клапан |
|
|
Статическое состояние регулирующего клапана |
Нормально закрытое |
|
|
Линейность измерения |
±1,5% F.S |
|
|
Повторяемость измерений |
±0,2% F.S |
|
|
Измерение времени отклика |
≤8 секунд(T95) |
|
|
Диапазон рабочих давлений |
0,3 МПа |
|
|
Давление в корпусе клапана |
3 МПа |
|
|
Рабочая температура |
（5～45）℃ |
|
|
Материал корпуса |
Нержавеющая сталь 316L |
|
|
Скорость утечки из корпуса клапана |
1×10-8 па.м3/с |
|
|
Соединения труб |
",,, |
|
|
Входной и выходной сигналы |
0~5V |
|
|
Источник питания |
±15 В(±5%) (＋15 В 50 мА, －15 В 200 мА). |
|
|
Габаритные размеры (мм) |
130 (ширина) × 102 (высота) × 28 (толщина) |
|
|
Коммуникационный интерфейс |
Протокол RS485 MODBUS |
|
|
Источник питания постоянного тока |
Источник питания |
500 Вт |
|
Выходное напряжение |
0~600 В |
|
|
Максимальный выходной ток |
1A |
|
|
Продолжительность синхронизации |
65000 С |
|
|
Время запуска |
1~10 С |
|
|
Количество |
2 комплекта |
|
|
Источник радиочастотного питания |
Источник питания |
500 Вт |
|
Диапазон выходной мощности |
0 Вт-500 Вт, с автоматическим согласованием |
|
|
Максимальная отраженная мощность |
100 Вт |
|
|
Радиочастотная частота |
Стабильность 13,56 МГц +/-0,005% |
|
|
Стабильность мощности |
≤5 Вт |
|
|
Гармоническая составляющая |
менее -50dbc |
|
|
Количество |
1 комплект |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Coating system vacuum chamber sample transfer machine |
По запросу |
JoomShopping Download & Support