Система нанесения покрытия с несколькими вакуумными камерами (система многокамерного нанесения покрытий кластерного типа) может быть сконструирована с использованием этой системы, и образцы могут автоматически пересылаться между каждой вакуумной камерой. Система использует сервосистему Siemens для оптимизации управления.
Технические характеристики
Система нанесения много вакуумных камер (система многокамерного нанесения покрытий кластерного типа) может быть сконструирована с использованием этой системы, и образцы могут автоматически отправляться и переноситься между каждой вакуумной камерой. Система использует сервосистему Siemens для оптимизации управления передаточным манипулятором, которая является надежной, точной и быстрой.
образец управления автоматической коробкой передач
четыре станции, шестиступенчатая система обработки
управление с помощью сенсорного экрана, параметры работы могут быть
Интерфейс RS232
библиотека подключаемых модулей
Технические параметры
|
Проект |
Четырехпозиционное |
Четыре станции |
Инструкции |
|
Напряжение питания |
220 В Переменного тока/50 Гц/ 1,2 кВт |
||
|
Количество |
4 |
6 |
Включает образец |
|
Передаточная камера |
420 x 420 мм |
580 x 580 мм |
|
|
Привод длину руки |
140 мм |
200 мм |
|
|
Диаметр образца: |
<= 200 мм |
Большой размер может быть настроен по индивидуальному заказу |
|
|
Максимальное доставки |
540 мм |
820 мм |
Диаметр образца |
|
490 мм |
770 мм |
Диаметр образца |
|
|
Диаметр внешней вакуумной камеры |
<= 480 мм |
<= 886 мм |
Диаметр образца |
|
<= 380 мм |
<= 786 мм |
Диаметр образца |
|
|
Подъем манипулятора |
<= 12 мм |
||
|
Перенос толщины образца |
0,3 ~ 4 мм |
||
|
Вакуумный интерфейс |
KF40 |
||
|
Максимальный вакуум |
3.0x10-4Pa (Молекулярный насос) |
||
|
Интерфейс управления |
Сенсорный экран |
||
|
Внешнее управление |
RS232, протокол ModBus |
||
|
Рабочая температура окружающей среды |
Температура < 35 ℃ |
||
|
Влажность окружающей среды для |
<75% (относительная влажность) без конденсации |
||
|
Используйте высоту окружающей среды |
<2000 м |
||
|
Внешний размер |
420x420x1300 мм |
580x580x1300 мм |
(Д x Ш x В) |
|
Вес |
Около 85 кг |
Около 105кг |
Вакуумный блок и запорный клапан в комплект поставки не входят |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Coating system vacuum chamber sample transfer machine
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support