Данное оборудование представляет собой трехцелевой магнетронный напыляющий аппарат для нанесения покрытий, который может использоваться для получения металлических тонких пленок. Оно находит применение в областях электроники, оптики и специальной подготовки керамики. Он также может использоваться для лабораторной подготовки образцов SEM.
Технические характеристики
Введение продукта: данное оборудование представляет собой трехцелевой магнетронный распылитель для нанесения покрытий, который может использоваться для получения металлических тонких пленок. Оно находит применение в областях электроники, оптики и специальной подготовки керамики. Он также может использоваться для лабораторной подготовки образцов SEM.
Трехцелевой магнетронный напыляющий инструмент оснащен двумя магнетронными мишенями и двумя наборами источников питания постоянного тока, которые можно использовать для нанесения многослойных проводящих металлических пленок. В то же время оборудование состоит из двух частей: основной камеры и переходной камеры. Переходная камера оснащена магнитным толкателем, а между двумя камерами установлен вакуумный запорный клапан; Пользователь может загружать образцы в переходную камеру во время выполнения работ по распылению в основной камере и выполнять предварительную вакуумную откачку. После завершения распыления в основной камере образец можно протолкнуть в отсек для отбора проб основной камеры с помощью магнитного толкателя. Такая конструкция позволяет сократить количество раз вакуумирования в основной камере, что не только эффективно экономит время, но и обеспечивает лучший локальный вакуум и эффективно улучшает качество покрытия.
Трехцелевой магнетронный напыляющий инструмент для нанесения покрытий технические характеристики
|
Рабочее напряжение |
ВПТ 220, 60 Гц |
|
|
Вакуумная камера для распыления |
Размер: ~ φ325xh510 мм Материал: нержавеющая сталь 304 Обработка внутренних стенок: электролитическая полировка Способ герметизации: уплотнение из фторкаучука Смотровое окно: ~ 4дюйма (100 мм) с заслонкой |
|
|
Держатель образца |
по , установочный держатель для образцов, с одним затвором, с одним затвором Держатель образца: Диаметр 150 мм Скорость вращения: 0 ~ 20 об/мин регулируется Температура нагрева: RT ~ 500oC |
|
|
Магнетронный распылитель |
Количество: 3 комплекта Регулируемый угол наклона -45 ° ~ 45° Ориентация распыления вниз Размер мишени l : диаметр 2дюйма, толщина не более 3 мм |
|
|
Кварцевый монитор |
Номеров каналов: Одноканальный Точность: 0,1 Скорость измерения: регулируется на 100 мс-1 с Диапазон измерений: 500 000 МКМ (алюминий в качестве эталона) Стандартный датчик из кварцевого кристалла: 6 МГц |
|
|
Вакуумная система |
Подпорный насос |
Двухступенчатый роторно-лопастной насос Скорость откачки: 1,1 л/с |
|
Молекулярный насос |
Скорость откачки: 600 л/с Номинальная скорость вращения: 27000 об/мин Время запуска: <5 минут Способ охлаждения: водяное охлаждение Степень вакуума: 5*10-4Па |
|
|
Композитный вакуумметр |
Датчик сопротивления + ионизационный датчик Диапазон измерения: 10-5Па ~ 105 Па |
|
|
Источник питания постоянного тока |
Количество: 2 комплекта Выходная мощность: 0 ~ 500 Вт Выходное напряжение: 0~600В Максимальный выходной ток: 1A Время запуска: 1 ~ 10 секунд |
|
|
Радиочастотный источник питания |
Количество: 1 комплект Выходная мощность: 0 ~ 500 Вт Частота ВЧ: 13,56 МГц Метод подбора: автоматическое подбирание Отраженная мощность: ≦100 Вт Стабильность мощности: ±0,1% |
|
|
Регулятор массового расхода |
Одноканальный MFC для Ar-газа Диапазон измерения: 0 ~ 200 см |
|
|
Охладитель воды |
Расход: 10л/мин Мощность: 0,1 кВт Мощность охлаждения: 50 Вт/℃ Объем бака: 9 л |
|
|
Контроль |
Автоматическое управление с ПЛК |
|
|
Переходная камера |
Максимальный размер камеры рассчитан на 4-дюймовые пластины. Оснащен одной компактной группой молекулярных насосов подпорный насос: VRD-4, скорость откачки: 1,1 л/с Модель молекулярного насоса: TG60F Скорость откачки молекулярным насосом: 60 л/с |
|
Магнетронный напыляющий инструмент для нанесения покрытий видео
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Three target magnetron sputtering coating instrument with cleaning function |
По запросу |
JoomShopping Download & Support