В основном используются в областях плазменного нанесения тонкопленочных покрытий методом PECVD и двухкатодного распыления. Благодаря превосходному алгоритму управления может обеспечить стабильный и надежный биполярный выходной сигнал, а также обеспечить точный контроль мощности, напряжения, тока, частоты и времени импульса на выходе.
Технические характеристики
- Имеет модульную конструкцию и разработан в соответствии с отраслевыми стандартами;
- Форма сигнала и частота гибко регулируются;
- Интегрированы биполярный, униполярный, постоянный и импульсный режимы;
- Высокая выходная мощность в установившемся режиме. Стабильность выходного сигнала составляет 0,2%;
- Богатый коммуникационный интерфейс;
- Быстрое реагирование на инструкции по управлению.
Технические параметры
|
Модель |
BP-6030 |
BP-6040 |
BP-6060 |
|
Входное напряжение |
400 В - 480 В |
||
|
Входная частота |
50, 60 Гц |
||
|
Максимальный входной ток |
3x 66 А |
3x 88 А |
3x 132 А |
|
Номинальная выходная мощность |
30 кВт |
40 кВт |
60 кВт |
|
Диапазон напряжений |
0-600 В, 0-1000 В |
0-600 В, 0-1000 В |
0-600 В, 0-1000 В |
|
Текущий диапазон |
0-125 А, 0-75 А |
0-166 А, 0-100 А |
0-250 А, 0-150 А |
|
Частота импульсов |
0,1 Гц-100 кГц |
||
|
Время импульса |
1-1000 мс |
||
|
Рабочий режим |
Мощность, напряжение, ток |
||
|
Точность вывода |
0,5% |
||
|
Повторяемость |
0,2% |
||
|
Аналоговый вход |
Поддерживается |
||
|
Энергия дуги |
0,3 МДж/кВт |
||
|
Направление времени обработки дуги |
100 нс |
||
|
Рабочая температура окружающей среды |
+5°C - +45°C |
||
|
Температура окружающей среды при хранении |
-25°C - +55°C |
||
|
Относительная влажность |
5-85% |
||
|
Атмосферное давление |
86-106 кПа |
||
|
Размеры |
480 х 356 х 730 мм |
480 х 356 х 730 мм |
480 х 534 х 730 мм |
|
Вес |
98 кг |
108 кг |
148 кг |
|
Сопротивление изоляции |
5 кв. м. |
||
|
Эффективность |
90% |
||
|
Способ охлаждения |
Водяное охлаждение |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
BP-6030, BP-6040, BP-6060 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support