Система плазменной мойки NSPW3K

Газ окисляется, сжигается или термически разлагается при сверхвысокой температуре плазмы постоянного тока. Вспомогательная промывка и распыление, комплексная очистка от вредных выхлопных газов.

Технические характеристики

• Превосходная эффективность обработки ПФУ-газа;
• Длительный срок службы электрода;
• Антикоррозийная защита;
• Простота в эксплуатации, автоматическое управление ПЛК/сенсорной панелью;
• Три режима работы, энергосберегающий дизайн, сверхнизкое энергопотребление;
• Широко используется в отраслях промышленности: Полупроводниковые, FPD, солнечная, светодиодная;
• Основной процесс нанесения: Травление/CVD и т.д;
• Размер оборудования: 1500 (Д) × 1400 (Ш) × 1950 (В) мм
• Производительность: 3000 л/мин.