Применение
Тонкопленочное осаждение AlO+SiN.
Технические характеристики
- Процесс атомно-слоевого осаждения, хорошая однородность пленки.
- Полное нанесение многослойной пленки на одну и ту же машину или трубу, сокращение технологических связей, эффективное повышение выхода продукции и снижение скорости фрагментации.
- Независимые исследования и разработки технологии доставки паров прекурсоров жидких источников и технологии быстрого переключения прекурсоров.
- Подходит для нанесения пассивационного слоя для различных прекурсоров и материалов, с большим пространством для расширения процесса.
Технические параметры
|
Размер пластины |
230 мм |
|
Конфигурация трубки |
5 трубок/6 трубок |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
PD-520L/PD-520MAX |
По запросу |
JoomShopping Download & Support