12 дюймов PEALD PF-300T Astra

Технические характеристики

Серия PF-300T Astra представляет собой оборудование для атомно-слоевого осаждения (атомно-слойное осаждение), независимо разработанное нашей компанией. Оно может быть оснащено тремя реакционными камерами с двумя станциями. Оно используется в областях передового производства чипов и современной упаковки (TSV). Он также ориентирован на разработку передовой технологии Front-end-of-line (FEOL). Теперь доступны высококачественные пленки PEALD SiO2, SiN и т.д.

• Покрытие ступенек пленкой ALD может достигать 95% в условиях большого соотношения ширины.
• Отличные производственные затраты (CoO) и показатели производительности.
• Отличная однородность и отличное сохранение формы.
• Может выдерживать 1-3 PM, Каждый PM может быть сконфигурирован с 2 станции.
• Прошли сертификацию безопасности S2 и стандартную проверку F47.