Печь для диффузионного бора под низким давлением, печь для окислительного отжига

Печь для окислительного отжига в диффузионной печи бора низкого давления является одним из основных продуктов компании   Благодаря надежному качеству, стабильной работе и разумной цене, она хорошо принята производителем.

Технические характеристики

Основные особенности:

• Производственная мощность: 2200~2880 шт./туба.
• Количество трубок: 6 трубок.
• Контроль давления: метод управления APC.
• Системное управление: промышленный компьютер ПЛК и ПК.
• Связь: Melsec, MES, ввод-вывод, SECS-II и т. д.
• Интеграция автоматизации: полностью автоматизированное решение для оптимизации клиентов и интеграции управления MES.

Технические характеристики процесса:

• Квадратное сопротивление: 50~350 Ом/см².
• Предельный вакуум: ≤20 мбар.
• Однородность квадратного сопротивления: <5% (внутри чипа/между чипом/между партиями)

Преимущества:

• Быстрая сертификация процесса может значительно улучшить производство.
• APC может хорошо контролировать давление в технологической трубе во время процесса.
• Используйте лопасти Sic для стабилизации погрузочной зоны.
• Увеличенное время безотказной работы и более низкие затраты, хорошая техническая поддержка и обслуживание, обеспечивающие долгосрочную стабильную эксплуатацию оборудования.

Технические характеристики оборудования:

• Длина зоны постоянной температуры: 2800 мм.
• Количество температурных зон: 6 температурных зон.
• Максимальная температура: 1050℃.
• Однородность температуры: 800℃~1050℃±0,5℃.
• Метод загрузки пластины: консольная лопасть из карбида кремния.
• Максимальная нагрузка на весло: 100 кг.Материал технологической камеры и лодочки: кварцевая трубка и держатель лодочки из карбида кремния.