Геттерная печь HJT

Геттерная печь HJT является одним из основных продуктов компании   Она получила высокую оценку за надежное качество, стабильную работу и разумную цену. Пожалуйста, ознакомьтесь с подробной информацией здесь. Для покупки, пожалуйста, свяжитесь с нами.

Технические характеристики

Основные особенности:

• Производительность:>25000 шт./ч; 4800~5280 шт./трубка (105*210 мм)
• Количество трубок: 6 трубок.
• Контроль давления: метод управления APC.
• Системное управление: промышленный компьютер PLC и PC.
• Коммуникация: Melsec, MES.I/O, SECS-II и т.д.
• Интеграция автоматизации: полностью автоматизированное решение для оптимизации клиентов и интеграции управления MES.

Технические характеристики процесса:

• Значение квадратного сопротивления: 30 ~ 60 Ом/см².
• Предельный вакуум: ≤20 мбар.
• Однородность квадратного сопротивления: <5% (внутри чипа/между чипом/между партиями)

Технические характеристики оборудования:

• Длина зоны постоянной температуры: 2800 мм.
• Количество температурных зон: 6 температурных зон.
• Максимальная температура: 950℃.
• Однородность температуры: 800℃~950℃±0,5℃.
• Метод загрузки пластины: консольная лопасть из карбида кремния.
• Максимальная нагрузка на весло: 100 кг.
• Материал технологической камеры и лодочки: кварцевая трубка и держатель лодочки из карбида кремния с независимым шкафом для источника фосфора для легкой замены бутылей с источником.

Преимущество:

• Быстрая сертификация процесса может значительно улучшить производство.
• APC может хорошо контролировать давление в технологической трубе во время процесса.
• Использование лопастей из карбида кремния обеспечивает устойчивость погрузочной зоны, а держатель лодки из карбида кремния продлевает срок службы.
• Увеличенное время безотказной работы и снижение затрат, хорошая техническая поддержка и обслуживание, обеспечивающие долгосрочную стабильную эксплуатацию оборудования.