Высокотемпературная печь для отжига

Печь для отжига является одним из основных продуктов компании   Благодаря надежному качеству, стабильной производительности и разумной цене, производитель имеет достаточное количество продукции. Для покупки, пожалуйста, свяжитесь с нами.

Технические характеристики

В основном подходит для процесса активации высокотемпературного отжига различных устройств, таких как SiC/GaN.

Особенности оборудования:

• Модель: Активировать 150
• Температура процесса: 1800℃~2050℃.
• Технологический газ: H₂/N₂O/NO/O₂/Ar₂/N₂
• Технологическое давление: 1*10-3 мбар.
• Размер пластины: ≤150 мм.
• Емкость: 25 или 50 шт./партия.
• Обычное время работы: 98%
• Полностью автоматизированная система и MES-услуги

Преимущества продукта:

• Процесс активации высокотемпературного отжига занимает около 4 часов.
• В технологическом помещении имеется функция самоочистки DCE.
• Хорошая однородность температуры и однородность толщины.