Оборудование для сбора металлических примесей (VPD) для разложения паровой фазы Seehund ® Серия А

Оборудование для сбора металлических примесей (VPD) для разложения паровой фазы.

Технические характеристики

• Совместимость с 12-дюймовыми/8-дюймовыми пластинами, используется в производстве микросхем, производстве и регенерации больших 12-дюймовых пластин, ведущих технологических исследованиях и разработках и т.д.
• Лоток обеспечивает совместимость с 6-дюймовым экраном.
• Может использоваться с масс-спектрометром с индуктивно связанной плазмой (ICP-MS) или флуоресцентным спектрометром полного отражения (TXRF).
• Комбинация VPD и ICP-MS или TXRF может увеличить чувствительность обнаружения на 2 порядка, чтобы удовлетворить потребности в мониторинге загрязнения следами металлов в вышеуказанных областях.

Данные процесса.

VPD может повысить чувствительность обнаружения на два порядка.

Тест скорости сбора элементов: VPD и ICP – MS.

Оборудование для сбора металлических загрязнений Seehund ® типа A с разложением в паровой фазе (VPD) — это продукт, предназначенный для обеспечения решений по контролю металлических загрязнений в таких отраслях, как производство интегральных схем, производство и регенерация крупных пластин, а также исследования и разработки пилотных процессов. Поскольку нынешние требования промышленности по производству пластин к контролю загрязнения металлами намного ниже пределов, которые могут измерять TXRF и ICP-MS, необходимо использовать VPD для обогащения загрязнения поверхности пластины, чтобы преодолеть предел чувствительности обнаружения и соответствовать требованиям Загрязнение поверхности пластины необходимо для круглой производственной линии. В оборудовании используются компоненты международного стандарта, обычно используемые в 12-дюймовом и 8-дюймовом оборудовании производственных линий, оно соответствует стандартам проектирования SEMI и прошло строгие испытания на стабильность и надежность.