Оборудование для ионно-лучевого осаждения (IBD) Ganister™ Серия A

8-дюймовое оборудование для ионно-лучевого осаждения (IBD).

Технические характеристики

• В режиме низкой температуры и сверхнизкого давления формируется пленочный слой высокой плотности и высокого качества.
• Двойная структура источника ионов (распыление + вспомогательный источник ионов), вспомогательный источник используется для очистки и вспомогательного распыления.
• Он может контролировать процесс осаждения с высокой точностью и обеспечивать повторяемость слоя пленки между партиями.
• Оборудование для управления светом в режиме реального времени, используемое для мониторинга, анализа и настройки спектра пленки.
• Опционально: одновременные функции IBD и ионно-лучевого травления (IBE) в одной камере.
• Подходит для 8-дюймовых пластин.

Оборудование для ионно-лучевого осаждения Ganister™ A — это специальный продукт, разработанный для процессов осаждения тонких пленок при низкой температуре, высокой плотности и однородности. Он имеет важное применение при подготовке головок жестких дисков, магнитотвердых слоев смещения, зеркал Брэгга и т.д. другие устройства. Это оборудование использует напыление для формирования пленок и предлагает широкий выбор целевых материалов. Используемая вращающаяся мишенная основа с четырьмя пазами может работать с четырьмя мишенными материалами. Дополнительный вспомогательный источник ионов может выполнять такие функции, как предварительная очистка на месте и оптимизация плотности пленки. Кроме того, вспомогательный источник ионов Ganister™ A также может выполнять травление ионным лучом, совмещая два процесса в одной камере, что значительно улучшает функциональность оборудования.