Печь высокотемпературного окисления (1500)

Технические характеристики

Особенности оборудования:

• Адаптация к различным спецификациям и размерам технологических пластин: небольшие квадратные пластины, пластины неправильной формы, а также пластины диаметром 2, 4 и 6 дюймов.
• Оптимизированная конструкция, небольшая занимаемая площадь.
• Гибкая и разнообразная настройка процесса
• Простота в эксплуатации, использовании и обслуживании.
• Чрезвычайно высокие показатели точности и надежности.

 Производительность продукта:

• Температура процесса может достигать 1350/1500 ℃ (корпус печи может достигать более высоких температур)
• Мелкосерийные исследования и разработки — 5 шт./печь, тип производства — 50 шт./печь.
• Ручная загрузка и разгрузка/полностью автоматическая загрузка и разгрузка от коробки к коробке (от кассеты к кассете)
• Регулирование нормального давления/вакуума, предел <10–3 мбар, технологическое давление: 800–1000 мбар.
• Структура печи: горизонтальная/вертикальная.