Технические характеристики
Производительность продукта:
- Очистка отходящих газов для LPCVD, PECVD, травления и т.д.
- Использует метод электрического нагрева/сжигания газа, внутреннюю циркуляцию распыления воды/жидкости, мониторинг состава жидкости и автоматическое пополнение воды.
- Производственная мощность, тип научных исследований: 100SLM, тип производства: 400/600/1000/1500SLM...
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Серия машин для сжигания (электричества) + влажной очистки выхлопных газов. Мокрая очистка выхлопных газов + сжигание. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support