Технические характеристики
Подходит для изготовления металлических тонкопленочных электродов диаметром 4-6 дюймов
- Конструкция обменной камеры более эффективна без нарушения вакуума
- Автоматическое управление рецептурой, дистанционное управление
- Оперативная очистка плазмой для улучшения адгезии
При использовании безмасляных сухих насосов первой линии и молекулярных насосных установок для создания чистого разрежения 10-3 Па время разрежения обычно составляет менее 30 минут.
Высококачественный источник питания для магнетронного распыления постоянной мощности используется для обеспечения постоянной скорости нанесения покрытия. Он также оснащен автоматической вращающейся подъемной ступенью для отбора проб, которую можно смещать, а для очистки и активации подложки можно использовать источник плазмы. Он особенно подходит для изготовления металлических тонкопленочных электродов толщиной 4-8 дюймов, с помощью которых можно добиться хорошей толщины пленки, однородности рабочих характеристик и отличной адгезии пленки.
Технические параметры
|
Основная цель |
Металлический тонкопленочный электрод |
|
Комплект вакуумных насосов |
Стандартный Сухой насос + 2 комплекта молекулярных насосов |
|
Установленная насосом скорость откачки |
Сухой насос >7 м3/ч + молекулярный насос 250 л/с |
|
Абсолютный вакуум |
<1,0E-4Pa |
|
Рабочее давление воздуха |
Типичное значение: 0,3-1 Па |
|
Свободное время |
<30 мин (<1,0 E-3 Па, чистая Полость) |
|
Измерение вакуума |
Диапазон измерения атмосферного давления до 1,0E-8Torr, импортный фирменный композитный вакуумметр |
|
Газовый контроль |
Двусторонний/ трехходовой регулятор массового расхода газа MFC (50 или 100 SCCM Ar/N2) |
|
Размер камеры |
Полость загрузочного замка Ø 300*180 мм Технологическая Полость Ø 300*180 мм |
|
Задвижка |
Преимущество |
|
Магнетронный целевой источник |
Размер мишени Ø 76.2*0.1-5 мм/2шт Вариант 1: Размер целевого материала Ø 50.8*0.1-5 мм/3шт Вариант 2: Размер целевого материала Ø 203,2 мм/1 шт. Может достигать одноцелевого распыления / двойного и трехцелевого совместного распыления / чередующегося распыления Благодаря независимой перегородке он может распылять драгоценные металлы Au / Pt и т.д.， Или металлические Al, Cr, Ag, Ti, Cu, Ni и другие металлы (с использованием газа Ar) |
|
Источник питания для распыления |
Источник питания магнетронного распыления постоянного тока постоянной мощности Макс. 500 Вт (опционально отечественного или импортного бренда ADL) Источник питания для распыления постоянного тока со смещением 0-400 В (опция) |
|
Стадия выборки |
8-дюймовый стенд для отбора проб. Система использует многоосевую систему управления серводвигателем + магнитное уплотнение жидкости + сильфонный модуль, который может осуществлять автоматический подъем ступени отбора проб (диапазон регулировки не менее 40 мм) и вращение ступени отбора проб (скорость регулируется в диапазоне 0-60 об /мин). |
|
Плазменная очистка |
Дополнительный источник радиочастотной плазменной очистки (75 Вт) |
|
Промышленный режим управления |
Предоставьте программное обеспечение для редактирования меню клиентского процесса. Может быть реализовано гибкое редактирование меню процесса (модульное редактирование меню процесса может выполняться в программном обеспечении для редактирования процесса) + режим автоматического выполнения меню процесса (загрузка меню процесса, поддержка автоматического или удаленного сетевого управления нанесением покрытия) |
|
Способ работы |
Управление сенсорным экраном /удаленное сетевое управление компьютером |
|
Вес/размер |
~ 300 кг / ширина 800 мм * глубина 1500 мм * высота 1500 мм |
|
Потребляемая мощность/газ |
220 В переменного тока, трехконтактный штекер заземления 50/60 Гц, сжатый воздух 0,4 Ма |
|
Потребляемая входная мощность |
< 3500 Ватт |
|
Способ охлаждения |
Стандартный охладитель воды |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
DSC3000 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support