Прибор для высоковакуумного ионного распыления ISC 150T

Технические характеристики

Можно распылять позолоченные металлы: Au, Pt, Pd, Ir, E, Cr, C, Ag, Ti, Cu

1. Высокий вакуум: распыление более деликатное
2. Мембранный насос + молекулярный насос: безмасляный и более чистый
3. Низкий тепловой урон, низкий урон от ионной бомбардировки

Увеличение полевого излучения SEM со сверхвысоким разрешением может достигать порядка 200 000-300 000 раз, поэтому оно выдвигает более строгие и деликатные требования к Размеру частиц позолоченного металла.

Обычные растворы из сплавов Pt или Pt-Pd больше не могут хорошо соответствовать требованиям, а инфракрасные мишени с более высокой температурой плавления слишком дороги. Поэтому предпочтение отдается W и Cr, которые имеют более мелкие частицы и металлы с высокой температурой плавления, но W и Cr требуют более высокой степени вакуума для распыления из-за их активных химических свойств.

ISC150T - это прибор для высоковакуумного ионного распыления, который использует комбинацию мембранного насоса и молекулярного насоса для создания высокого вакуума порядка ^10-3 Па. Он может распылять мишени из драгоценных металлов, такие как Au, Pt или Pd, а также легко окисляемые мишени, такие как W, Cr и C. Он особенно подходит для использования в сканирующей электронной микроскопии с полевой эмиссией высокого разрешения и большим увеличением для подготовки образцов и нанесения покрытий.

Технические параметры