Оборудование для низкотемпературной плазменной обработки поверхности

Технические характеристики

Серия Metis - это оборудование для низкотемпературной плазменной обработки поверхности, независимо разработанное компанией Jiyi technology. В основном используется для промывки / удаления остатков клея и обработки поверхности 8- и 12-дюймовых фоторезистов. Metis отличается компактной конструкцией, небольшими габаритами, стабильным и надежным оборудованием, простотой обслуживания и высокой производительностью.

Область применения:

Корпусирование на уровне пластины

Эксплуатационные характеристики:

Дистанционная плазма с индуктивной связью, высокая плотность

Разнообразие конфигурации газовой перегородки, превосходная однородность полосы

Дополнительная атмосферная трансмиссия и вакуумная трансмиссия, эффективная двухрычажная трансмиссионная система

Самостоятельно разработанная визуальная операционная система, простая в освоении и эксплуатации

Простота обслуживания, высокая производственная мощность, низкие затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание

Размер пластин: 8/12

Применимый материал: Фоторезист/полимид.

Применимый процесс: Дегуммирование, дегуммирование (низкая температура), обработка поверхности.