Трехкамерная система магнетронного напыления сверхвысокого вакуума QBT-MP

Технические условия QBT-MP (Приготовление различных сверхпроводящих металлов и нитридов и т.п.).

Камера сверхвысокого вакуума. Камера UHV.

Многосрезовый отбор проб, камера ионной очистки и три камеры магнетронного распыления с несколькими пушками.

Камера для проб LoadLock

В камеру впрыска одновременно загружаются четыре образца.

Ионно-лучевая очистка. Ионное измельчение.

Источник ионов Кауфмана, двойной контроль угла наклона столика для проб.

Магнетронное распыление.

Камера магнетронного распыления может быть оснащена четырьмя 3-дюймовыми пушками и одной 4-дюймовой пушкой.

Субстрат.

Может нагреваться до температуры 900°C, вращаться, а расстояние между подложкой и мишенью плавно регулируется, а пространство мишени может постоянно меняться.

Максимальный вакуум. Максимальное давление.

<3E-9Торр

Вафельный трансфер.

Высоконадежные и повторяемые возможности переноса подложек.

Человеко-машинный интерфейс HMI.

Полностью автоматизированный интерфейс человеко-машинного управления.

Безопасность

Защитная блокировка промышленного стандарта. Промышленная защитная блокировка, сигнализация, EMO

Модель

Стоимость, доллары США

Трехкамерная система магнетронного напыления сверхвысокого вакуума QBT-MP.

Цена по запросу.