Вакуумная печь для отжига серии RTP-RTP300

Технические характеристики

Печь для вакуумного отжига серии RTP использует технологию нагрева инфракрасным излучением для достижения быстрого нагрева и быстрого охлаждения оборудования для вакуумного отжига. Оборудование этой серии быстро нагревается и охлаждается и может реализовать процесс быстрого отжига, процесс быстрой термообработки, процесс быстрого окисления, процесс быстрого термического азотирования и процесс легирования металла.

Печь вакуумного отжига RTP300 использует метод верхнего и нижнего инфракрасного нагрева и использует уникальный метод установки нагревательной трубки. Скорость нагрева выше, а равномерность температуры нагрева выше. В то же время в верхнем и нижнем нагреве используется распределение по зонам с несколькими температурами, а точность контроля температуры выше.

RTP300 соответствует максимальному 12-дюймовому техпроцессу устройства и имеет обратную совместимость. Удовлетворяйте различные потребности клиентов в продуктах. Благодаря чрезвычайно высокой скорости нагрева пластина или материал быстро нагревается до 300-1000 ℃, тем самым устраняя некоторые дефекты внутри пластины или материала и улучшая эксплуатационные характеристики продукта.

Область применения: Может быть применен в процессе отжига полупроводниковых материалов третьего поколения, нитрида галлия, карбида кремния и др. Печь для отжига широко используется в производстве пластин микросхем, светодиодных пластин, MEMS, составных полупроводниковых и силовых устройств и других микросхемных изделий, а также в процессах быстрого омического контактного сплава, отжига с ионной имплантацией, роста оксидов, снятия напряжений и уплотнения за счет быстрой термической обработки для улучшения кристаллической структуры и фотоэлектрических свойств. Технологический индекс выше, процесс сложнее, а специфичность выше.

1. Отжиг в условиях реального вакуума степень разрежения может достигать 1па.
2. Уровень удерживающего давления: вакуум в полости может достигать 30па в течение 30 минут (нагнетание до 5Па, закройте клапан и начните удерживать давление).
3. Профессиональное программное управление для достижения идеального опыта эксплуатации.
4. Программируемая система контроля температуры, включающая до 40 сегментов в отрасли, позволяет задать наиболее идеальную технологическую кривую.
5. В зависимости от различных характеристик материала устанавливаются различные процессы отжига.
6. Технология охлаждения позволяет добиться быстрого охлаждающего эффекта (стандартная конфигурация).
7. Функция оперативного измерения температуры. Осуществите измерение равномерности температуры в зоне отжига. Обеспечьте экспертную поддержку при настройке процесса.
8. Азот или другие инертные газы соответствуют требованиям к отжигу в различных процессах.
9. Удовлетворите потребности в одновременном нагреве верхней и нижней камер.